直流輝光放電氮原子離子的Ｍｏｎｔｅ Ｃａｒｌｏ模擬研究
2003-04-29 00:00:00張連珠等
吉林大學學報(理學版) 2003年1期
提要：采用氮直流輝光放電等離子體中快電子和離子混合的蒙特卡羅模型，模擬研究了。過程離子的產生率軸向分布隨放電參數的變化規(guī)律及其轟擊陰極的，能量分布．結果表明，兩種離解過程中氮原子離子的產生率均隨氣壓和電壓的增加而增大，隨放電氣體溫度的升高而降低；但離解碰撞主要發(fā)生在陰極附近．在電壓較高時，陰極處的主要由離解過程產生；在電壓較低時，離解過程可忽略．
關鍵詞：氮直流輝光放電；蒙特卡羅模擬方法；氮原子離子；離解碰撞
中圖分類號：O461．2
文獻標識碼：A
文章編號：1671—5489(2003)01—0077—04
