高精度壓印機壓印軸的熱誤差分析

嚴　樂　盧秉恒　丁玉成　劉紅忠

摘要：在壓印光刻工藝中，針對壓印機由于溫度變化而引起的熱誤差，通過建立壓印機壓印軸有限元分析模型，對其溫度分布進行了仿真計算．采用高斯求積法優化了溫度傳感器的位置和數量，選取了1個熱源點和2個高斯點作為測溫關鍵點，建立了壓印軸測溫點的溫度變化與壓印軸軸向熱誤差之間的線性計算模型，該方法可以預先確定測溫點的數量和位置，避免了傳統的從多個測溫點中通過實驗選擇最優傳感器數量和位置的方法．研究結果表明，有限元計算結果與實驗中溫度測量值之間的誤差小于7．7％，仿真結果能準確反映壓印軸溫度場的分布情況，所建立的壓印軸熱誤差模型的計算精度可以達到93％，因此獲得了較高的計算精度．

關鍵詞：壓印光刻；熱誤差；溫度場；有限元

中圖分類號：THl61．4文獻標識碼：A文章編號：0253—987X(2004)09—0909—04