結構光和顯微術相結合實現光學層析

朱升成　王　昭　趙　宏

摘要：針對共焦測量中單點掃描速度慢、機構復雜、光能利用率低的問題，介紹了一種利用結構光和共焦顯微術相結合來實現多光束測量的新方法．通過改裝顯微照明光路，投射一結構光到被測物體上，獲得了物體的層析像與普通顯微鏡成像的疊加像．該疊加像經過解碼算法，實現了非零頻分量的層析成像，并利用互強度理論，對該層析顯微鏡的層析能力和解碼算法從理論上給出了表達式．數值模擬表明，該系統與針孔陣列、微透鏡陣列和孔徑相關相比，不僅簡便可行，而且提高了速度，光能利用率也得到了明顯的改善．

關鍵詞：結構光；共焦顯微術；光學層析

中圖分類號：TN247文獻標識碼：A文章編號：0253—987X(2004)05—0508—05