半導體前端工藝技術發展現狀與展望（下）
2004-04-29 00:00:00
電子產品世界 2004年23期
RTP(快速熱處理)技術
熱處理是晶體管細微化中的一項重要技術。按照ITRS的技術進展，降低各熱處理工序的熱存積要求越加嚴格。65nm之后的加工中引入了高K柵極絕緣膜及金屬柵電極材料，對極線擴散層的生成只用以往RTP的熱處理在技術上就很難滿足ITRS提出的規格了。
RTP(快速熱處理)技術
熱處理是晶體管細微化中的一項重要技術。按照ITRS的技術進展，降低各熱處理工序的熱存積要求越加嚴格。65nm之后的加工中引入了高K柵極絕緣膜及金屬柵電極材料，對極線擴散層的生成只用以往RTP的熱處理在技術上就很難滿足ITRS提出的規格了。
