基于微壓印成形的三維微電子機械系統制造新工藝
2005-04-29 00:44:03王權岱段玉崗丁玉成盧秉恒張亞軍
西安交通大學學報 2005年9期
王權岱 段玉崗 丁玉成 盧秉恒 張亞軍
摘要：針對目前微電子機械系統(MEMS)制造中存在的三維加工能力不足的問題，將壓印光刻技術和分層制造原理相結合，研究了三維MEMS制造的新工藝。采用視頻圖像原理構建了多層壓印的對正系統，對正精度達到2／μm。通過降低黏度和固化收縮率，兼顧彈性和固化速度，開發了適用于微壓印工藝的高分辨率抗蝕劑材料，并進行了勻膠、壓印和脫模工藝的優化實驗。通過原子力顯微鏡對壓印結果進行了分析，分析結果表明，圖形從模具到抗蝕劑的轉移誤差小于8％，具有制作復雜微結構的能力，同時也為MEMS的制作提供了一種高效低成本的新方法。
關鍵詞：壓印光刻；分層制造；微電子機械系統；對正
中圖分類號：TH162．1；TH163文獻標識碼：A文章編號：0253—987X(2005)09—0946—04
