高精度步進(jìn)壓印機(jī)熱誤差的建模分析

嚴(yán)　樂(lè)　盧秉恒　丁玉成　劉紅忠

摘要：為了消除由紫外光曝光所引起的步進(jìn)壓印機(jī)的熱誤差，以提高壓印機(jī)的套刻對(duì)準(zhǔn)精度，運(yùn)用逐步回歸分析法選取了壓印機(jī)上溫度測(cè)量點(diǎn)的數(shù)量，將壓印機(jī)上布置的溫度傳感器從15個(gè)減少到6個(gè)，并建立了壓印機(jī)溫度測(cè)量關(guān)鍵點(diǎn)處的溫度與壓頭在x、z方向熱誤差關(guān)系的數(shù)學(xué)模型．實(shí)驗(yàn)結(jié)果與模型計(jì)算結(jié)果的對(duì)比分析表明，模型的熱誤差預(yù)測(cè)精度在x方向可以達(dá)到89％，而在z方向可以達(dá)到93％．應(yīng)用表明，該方法是一種在壓印機(jī)熱誤差建模中選擇溫度測(cè)量關(guān)鍵點(diǎn)的有效方法，可避免熱誤差建模過(guò)程中的變量耦合問(wèn)題，從而提高了模型的精確性．

關(guān)鍵詞：壓印光刻；步進(jìn)壓印機(jī)；熱誤差；溫度場(chǎng)；建模

中圖分類(lèi)號(hào)：TN305文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：A文章編號(hào)：0253—987X(2005)05-0526—05