濺射于NiMnCo上的TiO₂薄膜的結(jié)構(gòu)與相變

顧廣瑞　李哲奎　林景波　李全軍　鄭偉濤　趙永年　金曾孫

摘要：利用射頻磁控濺射方法以純金屬鈦?zhàn)霭胁脑跉逖趸旌蠚怏w中制備了TiO₂薄膜。X射線(xiàn)衍射結(jié)果表明，在NiMnCo合金基底上成功地沉積了具有金紅石、金紅石／銳鈦礦和銳鈦礦結(jié)構(gòu)的TiO₂薄膜，工作氣壓從0．2Pa變化到2h，TiO₂薄膜的結(jié)構(gòu)由金紅石相變到銳鈦礦相。低于600nm時(shí)，厚度對(duì)TiO₂薄膜結(jié)構(gòu)沒(méi)有明早影響。

關(guān)鍵詞：TiO₂薄膜；XRD光譜；金紅石；銳鈦礦

中圖分類(lèi)號(hào)：O647．2

文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：A

文章編號(hào)：1671-5489(2005)04—0517—04