國產300mm集成電路硅單晶制備和硅片加工設備研制單位
2015-07-04 01:41:42
電子工業專用設備 2015年8期
序號1234 56設備名稱單晶生長爐多線切割機精密磨削機雙面拋光機單面精密拋光機（CMP）高溫立式退火爐研制單位浙江晶盛機電股份有限公司、西安理工晶體科技有限公司中國電子科技集團公司第四十五研究所無錫機床股份有限公司蘭州瑞德設備制造有限公司（現更名：蘇州赫瑞德電子專用設備科技有限公司）中國電子科技集團公司第四十五研究所北京七星華創電子股份有限公司
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