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超短激光脈沖消除熱影響
然而,對于某些應用,使用掃描振鏡冷消融的加工方式得到的精度與錐角是不夠的。錐角是在切割縫的邊界產生的,部分是因為激光能量密度在那里比較低,部分是因為材料在那里再沉積。對于這些應用,使用固定加工頭、加工氣體噴嘴和高精度軸是很有優勢的。然而,軸的加速度和速度與掃描振鏡相比是微不足道的。因此,激光引入的熱量在固定加工頭的應用中會比較多。即使是局部熔化材料也不能完全排除這種現象。盡管如此,可以依舊保持工件質量。與固體激光器和CO2激光器的“熱”激光切割相比,超短脈沖確保引入的熱量在時間和空間上是可控的。因此,仍然不會對工件造成熱影響。用固定加工頭的USP激光微切割就如同微米范圍的熱加工。

更加陡的錐角和
與掃描振鏡的冷消融加工方式相比,如果能正確采用固定加工頭微切割加工,則能形成更陡的錐角,同時保持良好的邊緣質量。優化的噴嘴能夠提供加工氣體,在高壓下去除材料的切縫。除了激光參數,噴嘴的幾何形狀和位置,以及加工氣體的類型和壓力同樣顯著影響著切割效果。另一個重要的方面就是合適的工件固定夾具的發展,同時支持可靠的固定和材料的自由切割。要將設計圖導入激光系統加工時,必須考慮激光的切入以及出口的位置。當涉及高精度,工藝的開發和質量的控制時,就需要適當的測量設備,這樣才能夠可靠地測量幾微米和表面粗糙度值低于1 μm的公差。