航空軸承技術現狀與發展

馬 芳，劉 璐

（中國航發哈爾濱軸承有限公司，哈爾濱150500）

0 引言

航空軸承是航空武器裝備的關鍵部件，特別是發動機主軸軸承，作為支撐高低壓轉子平穩運轉的關鍵部件，國外早已將其視為航空發動機的核心部件。航空軸承具有高速、高溫、載荷大、受力復雜、苛刻的環境適應性要求等工況特點，也因其單點性而具有長壽命高可靠性的要求。隨著航空技術發展，裝備的極限性能在不斷突破和提升，軸承的重要性也越來越突出。可以說，軸承技術代表著發動機極限轉速、耐溫能力和可靠性水平[1]，但是目前我國航空軸承技術與其他航空強國還有一定的差距。

本文為滿足航空發動機的發展需求，系統分析了國內外航空軸承技術現狀及差距，基于航空發動機未來發展趨勢，梳理出需要迫切解決和發展的航空軸承技術方向，希望為航空軸承技術發展提供參考。

1 國內外航空軸承技術現狀與差距

航空軸承的整體技術水平，在近30年來取得了令人矚目的進步。高精度、高轉速、高可靠性、長壽命、免維護保養以及標準化、單元化、通用化已成為軸承的基本技術標志。在軸承基礎技術進步、通用產品的結構改進、專用軸承單元化和陶瓷軸承的開發等方面取得的成效最為顯著。但是由于歷史原因，我國航空軸承技術起步較晚，因此與世界軸承強國相比差距明顯。以深溝球軸承為例，國外先進產品的壽命一般為計算壽命的8倍以上（最高可達30倍以上），可靠性為98%以上，而我國軸承的壽命一般為計算壽命的3～5倍，可靠性為96%左右[2]。正是由于我國高端軸承技術不足，致使國內航空軸承、高鐵軸承、機器人軸承等高端軸承領域基本以進口軸承為主。

從材料、設計、制造、試驗、檢測等5個方面分析國內外航空軸承現狀與技術差距。

（1）在材料方面。通常來說，一代材料決定一代發動機，航空軸承亦是如此。航空軸承材料主要包括高鉻抗疲勞軸承鋼、耐高溫工具鋼、高強度齒輪軸承鋼等。由于航空軸承服役工作環境十分復雜，包含鹽霧、沙塵、霉菌及濕熱等工況條件，一旦在服役過程中產生軸承銹蝕,將產生嚴重安全隱患,因此軸承材料的性能和質量是影響軸承壽命和可靠性的關鍵因素，國內外都在不斷進行新材料以及新工藝的開發和研究，以提高和穩定軸承鋼的冶金質量和性能，研制耐蝕、耐熱、高硬度、高疲勞強度的軸承。然而，軸承材料的高端冶金技術、精密鍛造技術、熱處理變形與晶粒度控制，都是國內材料方面的短板。目前針對特定工況，德國、美國已開始逐步應用耐腐蝕性能更加優良的高溫不銹鋼Cronidur30、CSS-42L，法國、德國等在新研發動機主軸軸承上已開始使用性能更加優越的Si3N4陶瓷滾動體材料；而國內，雖然已著手研究這些新型材料，但是沒有冶金技術支撐，大多數鋼材都是從國外采購，其應用技術也不成熟，如Cronidur30應用目前存在熱處理變形量較大、硬度不足等問題，此外，行業內對于M50、M50NiL等常用航空軸承材料氧含量、碳化物顆粒大小和均勻性的控制能力與國外還存在一定的差距。

（2）在設計方面。國外具有幾十年航空軸承設計與使用經驗，具備基礎研究與產品自主開發能力，已經普遍采用計算機優化設計和應用過程仿真分析，形成了各企業獨有的設計分析軟件和方法，對軸承的動態性能、熱效應、功率損耗等方面進行了全面的分析與計算；國內大多數企業在產品自主創新設計研發的資金投入、人才開發仍處于低水平，加上面向行業服務的科研院所走向企業化，從而削弱了面向行業進行研發的功能，此外幾十年來一直采用測繪研仿的設計模式，缺乏必要的設計手段和基礎數據，雖然具備了一定的設計能力，但單元化、集成化軸承設計能力仍處于起步階段，近年來借助于仿真分析能力的提升以及對進口軸承的反向設計，開展了軸承壽命影響因素的分析和等效加速試驗方法的驗證，但仍缺乏基礎研究能力的支撐，未形成系統完善的設計體系。

（3）在制造方面。國外已經建立成熟完善的工藝技術體系，產品在質量一致性、尺寸精度、壽命及可靠性等方面已達到較高水平，產品制造精度穩定在P2級；國內具備了常規結構的軸承鋼、耐熱鋼、不銹鋼材料航空軸承的制造能力，制造精度可穩定在P4級水平，但面向航空主軸軸承超高精度、復雜結構加工和質量一致性需求，設備能力明顯不足，因而造成工序能力指數低、一致性差，產品加工尺寸離散度大，產品內在質量不穩定，從而影響了軸承的精度、性能、壽命和可靠性。此外國外已逐步融合先進理念，實現智能制造，如德國提出“工業4.0”概念，在現代智能機器人、傳感器、數據存儲和計算能力成熟后，將能通過網絡把供應鏈、生產過程和倉儲物流智能連接起來，真正實現生產過程全自動化、產品個性化、管理智能化；而國內依然保持傳統生產方式，信息化程度不高。

（4）在試驗方面。以德國某軸承公司為例，多年來對軸承進行的壽命試驗，累計試驗時間達150萬h以上，形成了基于對M50和M50NiL2種主導材料軸承大量試驗數據積累，使用這2種材料制造的主軸軸承只需做3～5套50～200 h的運轉性能摸底試驗和大負荷斷油試驗，若未發生故障就直接安裝在發動機上進行臺架和飛行考核；國內尚未開展系統研究，主要按照國軍標要求開展性能試驗、耐久試驗及斷油試驗等軸承工況適應性試驗，究其原因：體系不完善、數據積累不足以支撐設計。據統計在2015年我國各大航空軸承廠與主機廠所的軸承試驗時數總計約4萬h，國內航空軸承累計試驗時數不足30萬h。另外，國內對于模擬真實工況的試驗器與工裝的研究不足，以致試驗結果與軸承服役性能存在較大誤差。

（5）在檢測方面。國外在產品加工過程檢測、理化分析、無損檢測等方面，配置了必要的高精度軸承檢測裝備資源，依托專業化的人才隊伍，開展了深入系統的研究，并擁有長期的實踐應用積累，建立了規范完善的檢測技術體系；國內檢測以傳統手段為主，高精度測量裝備資源配置不足，產品加工的形狀和位置精度測量主要依靠輔助測量手段，很難保證設計與工藝符合性要求，無損檢測沒有統一、完善的規范，尚未建立覆蓋原材料入廠、過程檢測和成品零件檢測全過程的無損檢測技術體系。

2 未來技術發展方向

2.1 航空發動機未來發展方向

從19世紀40年代至今，航空發動機經歷了從推重比1.12的單轉子渦噴發動機提升到推重比10以上渦扇發動機的演變過程，目前在軍用發動機主要以小涵道比渦扇發動機為主，未來向高推重比、長壽命、高可靠性及安全性等方面發展；民用發動機主要以大涵道比渦扇發動機為主，基于經濟性、維護、環境友好及安全等方面的考慮，更加側重向著高涵道比、低噪音、低污染、高可靠性等趨勢發展。根據第3、4和5代軍用航空發動機的技術特征，總體性能發展趨勢見表1。綜合來看，航空發動機的未來發展趨勢為高溫、高載荷、高轉速、長壽命與高可靠性。

表1 軍用航空發動機總體性能發展趨勢

2.2 航空軸承未來發展方向

航空發動機的性能提升對航空軸承的各項技術指標都有很高的要求。以軍用發動機為例，提高發動機推重比有2種方式：（1）減重；（2）增大推力，推力增加則軸承轉速提高，軸承壽命與速度成反比；渦輪前溫度升高，導致軸承腔環境溫度升高，易引起滑油加速分解，影響潤滑效果。發動機性能提升對軸承的挑戰如圖1所示，從圖中可見，當推重比增加同時，其轉速也增加，材料系數a2和潤滑系數a3系數下降，都將導致壽命大幅下降。

圖1 發動機性能提升對軸承的挑戰

對部分典型航空軸承的國內未來需求及國內外現有水平進行了大致梳理，見表2。

表2 2016年典型航空軸承部分技術指標對比分析

由表可知，未來航空軸承為滿足主機需求，需要dn值更高、壽命更長、載荷更重、溫度更高，此外，還有更復雜結構和更苛刻的環境適應性等要求，具體表現在以下方面：其中dn值由2.0×106mm·r/min向3.0×106mm·r/min跨越；發動機主軸軸承壽命由500～1500 h提高到3000 h左右；溫度由200℃提高到350℃；載荷由3000 kg提高到6000 kg；此外，軸承向更新一代耐高溫、耐腐蝕、抗疲勞等方向發展。另外，民用客機或運輸機主軸軸承壽命要求在25000 h以上，挑戰更大。

2.3 航空軸承技術發展趨勢

前文提到，航空發動機提高推重比的途徑之一就是增大主軸軸承轉速，提高dn值，而提高軸承轉速，帶來的主要問題：（1）滾動體離心力增大，導致軸承疲勞壽命下降；（2）內圈周向應力增大，可能引發內圈裂紋或斷裂故障。以深溝球軸承為例，當dn值超過1.5×106時，鋼球所產生的離心力變得非常大，使外圈與球接觸處的赫茲應力顯著提高，從而嚴重地縮短了軸承疲勞壽命。此外，在球軸承中，一般內外圈接觸角接近相等時壽命較長，但在高dn值下，由于離心力的作用，內圈接觸角增大，外圈接觸角減小，從而使球的自旋速度加大；球與溝道間的滑動加劇，發熱量增加，接觸溫度升高，加速了軸承疲勞破壞，嚴重影響軸承的可靠性及壽命。

因此為滿足航空軸承發展需求，未來航空軸承技術應基于結構設計與仿真、加工工藝與裝備、試驗技術與試驗器研制、材料及熱處理、防銹潤滑、失效分析等方面繼續深入探索，例如開發應用新型材料以提升軸承耐高溫、抗疲勞性能；進行表面強化，提升軸承耐磨、耐腐蝕性能；開展軸承結構設計與仿真技術研究，提高軸承可靠性；全面推進智能制造，實現全過程檢測物聯網+；推進4級試驗評價體系，搭建軸承大數據平臺；引入先進傳感技術，實時監測軸承狀態，實現智能軸承廣泛應用。

將16只小鼠分為常壓缺氧組（A組）和低壓缺氧組（B組），每組8只，分別在常壓缺氧與低壓缺氧環境中進行試驗。將48只小鼠分為常壓烏拉坦組（C組）、常壓咖啡因組（D組）、常壓對照組（E組）、低壓烏拉坦組（F組）、低壓咖啡因組（G組）、低壓對照組（H組），每組8只，各種分別置于常壓缺氧與低壓缺氧環境中進行試驗。C組與的F組小鼠腹腔注射5%烏拉坦，劑量為0.3 ml/10 g，D組與G組小鼠腹腔注射0.5%咖啡因，劑量0.3 ml/10 g，E組與H組小鼠腹腔注射生理鹽水，劑量0.3 ml/10 g。

2.3.1 軸承新材料的應用

材料是軸承性能的決定性因素之一，具有更好的耐腐蝕、耐高溫性能及強度，能夠大大降低軸承失效概率，因此航空發動機性能提升的發展需求也促進了一批新型軸承材料的研發與應用，如Cronidur30、CSS-42L和陶瓷材料等。

（1）Cronidur30

Cronidur30高氮不銹鋼是1種高韌性、高強度馬氏體耐蝕鋼，其在200℃的高溫HRC硬度均大于56，具有良好的斷裂韌性以及優異的抗腐蝕性能。在相同參數下使用Cronidur30材料制備的軸承壽命是M50鋼的5倍，其抗腐蝕性能是440C材料的100倍[3]。用Cronidur30制造的軸承具有高可靠性、超長壽命、低摩擦和低溫升特點，可以在具有較強腐蝕性的工況環境下使用[4-5]。

（2）CSS-42L

CSS-42L是1種具有高強度、高硬度的超高強度鋼，其在室溫下表面最高HRC硬度可達到67～72，在 430℃下的最高高溫 HRC硬度為 62，在480～500℃下的最高高溫HRC硬度58。其斷裂韌性可達到 110 MPa·m1/2。滾動接觸疲勞壽命L10是M50鋼的約28倍[6]。CSS-42L材料適用于高溫和強腐蝕環境以及磨損情況嚴重的軸承工況[6-7]。

（3）陶瓷材料

陶瓷材料是指Si3N4、Al2O3等經過成形和高溫燒結制成的一類無機非金屬材料，具有較好的抗彎強度和斷裂韌性，3點抗彎強度高于1000 MPa，斷裂韌性可達到8-9 MPa·m1/2以上，此外還具有密度低、硬度高、穩定性好、耐高溫、抗磨損、抗腐蝕、抗冷焊、電絕緣和不倒磁等優點。國外在F117-PW-100發動機上進行鑒定試驗表明：陶瓷軸承在高dn值下工作壽命為普通軸承鋼制軸承的4倍。陶瓷材料軸承廣泛適用于高溫、高速、低溫、腐蝕、要求不導磁、不導電等工況，還可用于瞬時無潤滑等特殊工況，且對潤滑劑污染敏感小[8]。

2.3.2 軸承表面處理

根據發動機室外使用統計，現役發動機主軸承失效的主要原因不是疲勞剝落，而是占總失效率70%以上的表面損傷和腐蝕[9]，對此，行業內普遍采用表面處理的方式以提高軸承耐磨、耐腐蝕等性能，已初步應用的技術有TiN涂層、離子注入、“雙重硬化”等。然而目前的涂層均沒有自修復功能，一旦發生機械損壞，將很快失去防護或增強效果。如何在保持和提升現有涂層優異性能的同時，賦予涂層“主動防護”的功能[10]，是目前涂層應用面臨的難點之一。

此外，在金屬表面進行仿生改性[11]，是未來改善軸承表面性能的1個新的途徑。石墨烯作為最薄的2維碳材料，具有高的化學及熱穩定性、潤滑性能、優異的阻擋性能和低的氣體滲透性能[12]，因此已經在其他領域拓展了研究空間,目前很多研究學者試圖利用石墨烯構建仿生多功能表面,立足在賦予表面其他方面的性能,如耐腐蝕、耐磨性等。例如：在2016年美國能源部構造了1種由小片狀石墨烯和金剛石納米顆粒構成的新型材料，幾乎完全克服摩擦，實現了表面接觸“超潤滑”。若能將該型或者該類材料作為軸承表面涂層，將大大降低軸承故障率。

2.3.3 結構設計與仿真

目前仿真技術已經廣泛應用于航空軸承產品開發、分析與設計、制造和檢測全流程中，成為不可缺少的工具，但目前缺少對高速、重載主軸承的動力學分析，在應力仿真中忽視了瞬態沖擊效應，軸承動力學仿真中難以施加熱載荷，計算中運動載荷作用下應力特征和熱分析中的應力特征相獨立，缺乏對二者綜合交互作用的分析[13]。

未來仿真技術將圍繞軸承靜力學、動力學、熱力學、流體力學、系統轉子動力學分析以及軟件二次開發6個方向，完成以下技術攻關：（1）實現軸承性能全方位仿真，如采用PERMAS、Abaqus等非線性分析軟件對軸承接觸區域的載荷分布以及接觸應力進行靜力學分析，對圓柱滾子輕載打滑率、球軸承殘余間隙等進行動力學分析；（2）在數字模型仿真的基礎上，進行物理仿真研究拓展，如通過有限元和彈流潤滑理論，將邊界熱載荷分布與溫度測試結果進行對比，完成航空發動機滑油系統斷油時主推力球軸承的瞬態熱分析；（3）促進軸承仿真技術、機理理論研究、試驗研究三者更好的相互滲透、融合，集成各通用仿真軟件，形成1套獨立自主的航空軸承分析系統平臺，增強軸承仿真的準確性。

2.3.4 智能制造與檢測物聯網+

提高產品一致性是提高軸承可靠性的挑戰之一，主要有2個實現方式：（1）改善磨削加工的一致性，可以通過在數控磨床上增加一些過程傳感器和測量設備，來獲取一些信息。例如聲發射、磨削功率和磨削力等。再將這些信息發送到數控系統控制器，以便持續評估每個砂輪的過程狀態，并自動且及時的調整機床設定。當然，如何調整機床設定需要軸承企業總結多年來的制造經驗，即大數據來支撐。如果該方法得以實現，就意味著每個零件都有獨立的磨削參數，從而使每個零件的表面質量完全一致。（2）提高產品檢測的自動化程度，檢測是保證產品質量一致性的重要手段，因此理想狀態是實現產品過程的100%檢測，但現階段檢測方式100%檢測無疑將大大降低生產效率，因此建議提高檢測自動化程度，盡早實現物聯網+，使檢測結果實時上傳、保存，減少人工因素干擾的同時，實現產品質量追溯管理。

2.3.5 4級試驗評價體系

針對基礎數據積累不足等問題，中國航發哈軸聯合哈爾濱工業大學提出了材料和工藝評價試驗、標準軸承評價試驗、全尺寸工況模擬評價試驗和主機系統評價試驗的“4級試驗評價體系”（見表4），旨在解決“我國長期以來1、2級考核試驗缺失，只進行部分3級試驗代替1、2級試驗，致使加速等效試驗，極限性能試驗等考核方式無法進行，可靠性系數無法確定”的難題。

表4 4級試驗評價體系與試驗項目對應情況

通過開展4級試驗評價，全方位考核軸承的材料、工藝、疲勞性能以及工況環境壽命與性能，大幅度提高軸承可靠性的同時，為自主研發正向設計形成數據支撐。

2.3.6 智能軸承技術

智能軸承技術是機械設備在線監測與故障診斷技術未來的發展方向。智能軸承是在傳統軸承與不同用途的傳感器集成而形成的獨特結構單元，由于傳感器比傳統監測方式更加接近故障發生源，不僅可大幅度提高信噪比以及早期故障診斷的成功率，而且還可對設備運行的參數進行實時監測，進而實現設備運行狀態的綜合分析。目前一般采用軸承本體開槽的方式進行軸承與復合傳感器的集成，但是不合理的溝槽勢必會影響軸承應力分布，造成軸承性能降低，這與應用智能軸承的初衷是相悖的。高航等[14-15]采用有限元法研究了嵌入式智能軸承外圈改造與結構參數對軸承承載能力與變形量的影響。目前智能軸承結構的參數分析，主要分析外圈沿軸向的凹槽對軸承應力和變形的影響，對外圈沿圓周方向的凹槽的研究較少，這也是未來技術攻關的方向之一。

3 結束語

航空軸承是國民經濟的重要戰略物資，尤其是航空發動機主軸軸承，是制造裝備業的關鍵部件。新中國成立以來，我國軸承工業快速發展，已經成為軸承產量和銷售額位居世界第3的軸承大國，但是我國軸承產業大而不強，究其原因就是自主創新、產業結構、行業標準等方面存在較多矛盾和問題，因此，航空軸承作為軸承行業金字塔的頂端，必須從“我”做起，（1）著力技術自主創新、引進社會優勢資源、完善企業技術體系、加強能力建設、聚焦關鍵技術攻關、建立共性技術發展平臺；（2）推動產業結構調整、打造“龍頭”優勢企業、支持軍民融合發展、支持零件專業化和工藝專業化生產；（3）引進數字智能制造、推進軸承“設計研發信息化、制造裝備數字化、生產過程智能化、經營管理網絡化”、形成行業內大數據庫；（4）完善產品標準體系、切實開展標準化研究、建立標準化平臺機制、提高實質性參與國際標準化工作的能力、爭取標準化主動權、話語權。

目前，借助“兩機”重大專項實施，航空軸承行業必須奮發圖強，搭乘航空發動機事業發展的快車道，著力加強自主創新，著力加強體系建設，顯著提高航空軸承的可靠性和一致性，大幅度提高航空領域重大裝備的自主化率，保障重要型號研制需求，實現“裝備強軍的中國夢”。

[1]Wang L,Snidle R W,Gu L.Rolling contact Silicon Nitride bearing technology:a review of recent research[J].Wear,2000,246:159-173.

[2]涂文兵.滾動軸承打滑動力學模型及振動噪聲特征研究[D].重慶：重慶大學,2012.TU Wenbing.Skidding dynamic model of rolling element bearing and features of vibration and noise[D].Chongqing:Chongqing University,2012.（in Chinese）

[3]Berns H,Lueg J.Corrosion behavior and mechanical properties of martensitic stainless steels containing Nitrogen[C]//Proceedings of the First International Conference on High Nitrogen Steels-HNS 88,Lille,France:1988:288.

[4]Trojahn W,Streit E,Chin H A,et al.Progress in bearing performance of advanced Nitrogen alloyed stainless steel,corridor 30[J].Materialwissenschaft Und Werkstofftechnik,1999（30）:605-611.

[5]姜周華，朱紅春，李花兵，等.高氮不銹鋼開發和應用的最新進展[C]//第十屆中國鋼鐵年會暨第六屆寶鋼學術年會論文集.上海：中國金屬學會，2015：6-7.JIANG Zhouhua,ZHU Hongchun,LI Huabing，et al.Latest progress in development and application of high Nitrogen stainless steels[C]//The Symposiums for the Tenth Annual Meeting of China Iron and Steel and the Sixth Annual Meeting of BaoGang,Shanghai：China Metal Society,2015:6-7.（in Chinese）

[6]李昭昆，雷建中，徐海峰，等.國內外軸承鋼的現狀與發展趨勢[J].鋼鐵研究學報，2016，28（3）：6-7.LI Zhaokun,LEI Jianzhong,XU Haifeng,et al.Current status and development trend of bearing steel at domestic and overseas[J].Journal of Iron and Steel Research,2016,28（3）：6-7.（in Chinese）

[7]陳凱.CSS-42L合金鋼的磨削加工性研究[D].南京.南京航空航天大學,2013.CHEN Kai.Grind ability of CSS-42L alloy[D].Nanjing:Nanjing University of Aeronautics and Astronautics,2013.（in Chinese）

[8]王黎欽，賈虹霞，鄭德志,等.高可靠性陶瓷軸承技術研究進展 [J].航空發動機，2013,39（2）:6-13.WANG Liqin，JIA Hongxia ，ZHENG Dezhi,et al.Advances in high-reliability ceramic rolling element[J].Aeroengine，2013,39（2）:6-13.（in Chinese）

[9]林基恕.航空發動機主軸滾動軸承的技術進展[C]//第七屆全國摩擦學大會論文集.蘭州：中國機械工程學會,2002:259-263.LIN Jishu.Technical progress of the main axis rolling bearing of aero engine[C]//The Symposiums for the Seventh National Conference on Tribology，Lanzhou:China Society of Mechanical Engineering,2002:259-263.（in Chinese）

[10]付紅麗，趙繼鵬，方露等.石墨烯在金屬防護中的應用與展望[J].表面技術,2017,46（3）：202-207.FU Hongli,ZHAO Jipeng,FANG Lu,et al.Application of graphene in corrosion protection of metals and its prospect[J].Surface Technology,2017,46（3）：202-207.（in Chinese）

[11]張繼佳.鋁合金表面仿生石墨烯涂層制備與性能[D].長春:吉林大學,2015.ZHANG Jijia.Fabrication and performance of bionic graphene coating on aluminum alloy substrate[D].Changchun:Jilin University,2015.（in Chinese）

[12]劉栓，王春婷，程慶利，等.石墨烯基涂層防護性能的研究進展[J].中國材料進展，2017，36（5）：377-383.LIU Shuan，WANG Chunting，CHENG Qingli,et al.Progress of protective performance of graphene based composite coatings[J].Materials China,2017，36（5）：377-383.（in Chinese）

[13]馬艷紅，王永鋒，公平，等.航空發動機主軸承接觸應力精確仿真計算方法[J].航空動力學報，2017，32（8）:2000-2008.MA Yanhong，WANG Yongfeng，GONG Ping,et al.Accurate simulation method for contact stress of aero-engine bearing[J].Journal of Aerospace Power,2017，32（8）:2000-2008.（in Chinese）

[14]高航，呂清，Gao R X.基于微傳感器的智能軸承技術[J].中國機械工程，2003，14（21）：1883-1885.GAO Hang,LYU Qing,Gao R X.Intelligent bearing technology based on micro sensor[J].China Mechanical Engineering,2003,14（21）：1883-1885.（in Chinese）

[15]劉浩，楊擁民，陳仲生．基于嵌入式微傳感器的智能軸承結構分析[J]．先進制造技術,2006,25（6）：43-45.LIU Hao,YANG Yongmin,CHEN Zhongsheng.Structure analysis of intelligent bearing based on embedded micro sensor[J]．Advanced Manufacturing Technology,2006,25（6）：43-45.（in Chinese）