集成電路裝備制造業現狀及問題

郭會會

摘要：為推動集成電路產業加快發展，工業和信息化部、國家發改委、科技部、財政部等部門編制了《國家集成電路產業發展推進綱要》，由國務院正式批準公布實施。中國已經是全球集成電路市場的大國，但集成電路大量依賴進口。要將我國集成電路產業做大做強，就一定要把我國集成電路裝備制造業搞上去。

關鍵詞：集成電路;裝備制造;問題分析

引言

集成電路是國家科技水平發展的標志，應用領域也極其廣泛，許多國家都將集成電路作為國家的重要產業。而我國在集成電路上起步較晚，行業也存在著許多問題，因此有必要對集成電路行業進行分析和論述，并對我國集成電路產業的問題給出一些建議，使其更加高效、穩定地發展，從而更好地服務人們的生活。

1.加快發展集成電路產業具有重要戰略意義

集成電路是工業的“糧食”，其技術水平和發展規模已成為衡量一個國家產業競爭力和綜合國力的重要標志之一，是實現中國制造的重要技術和產業支撐。國際金融危機后，發達國家加緊經濟結構戰略性調整，集成電路產業的戰略性、基礎性、先導性地位進一步凸顯，美國更將其視為未來20年從根本上改造制造業的四大技術領域之首。

發展集成電路產業既是信息技術產業乃至工業轉型升級的內部動力，也是市場激烈競爭的外部壓力。中國信息技術產業規模多年位居世界第一，2014年產業規模達到14萬億元，生產了16.3億部手機、3.5億臺計算機、1.4億臺彩電，占全球產量的比重均超過50%，但主要以整機制造為主。由于以集成電路和軟件為核心的價值鏈核心環節缺失，電子信息制造業平均利潤率僅為4.9%，低于CA平均水平1個百分點。目前中國集成電路產業還十分弱小，遠不能支撐國民經濟和社會發展以及國家信息安全、國防安全建設。2014年中國集成電路進口2176億美元，多年來與石油一起位列最大宗進口商品。加快發展集成電路產業，對加快工業轉型升級，實現《中國制造2025》的戰略目標，具有重要的戰略意義。

2.我國集成電路裝備制造業存在的主要問題

2.1 市場占有率低

目前，我國大規模集成電路生產線裝備大都依賴進口，我國大規模集成電路生產線（8-12英寸）中的硅片和晶圓（芯片）制造裝備大都是依賴進口的（8英寸以下的生產線是引進翻新的二手設備），這不僅嚴重影響了我國集成電路產業的發展，也對我國電子信息的安全造成重大的隱患。根據中國電子專用設備工業協會對我國13家主要集成電路生產單位的統計，2013年共銷售集成電路設備1093臺，銷售金額10.34億元（其中芯片制造設備約7億元），大約是當年我國半導體設備進口額的5%左右。

2.2 產業化進程緩慢

“十二五”期間，盡管在國家重大專項的支持下，一些關鍵設備進入了大生產線，并經過了驗收，但在新建的生產線上，使用單位有較大的風險，在與進口設備的競爭中，國產設備很難擠得上去。特別是對大規模集成電路芯片制造設備國產化缺乏信心，使已經在生產線上驗收的國產設備產業化進程艱難。目前，一些設備制造單位，已經將集成電路設備成果應用到風險相對低的LED等其它半導體器件領域。

2.3 缺乏“領軍”的高技術人才

一些技術難度大的關鍵設備，由于缺乏“領軍”的高技術人才，久攻不下，同時也影響了集成電路生產線設備國產化的推廣。

3.中國集成電路裝備制造業的發展方向

我國推動經濟發展的技術來源今后相當長的時間內仍然是兩個途徑：一是引進，二是自主創新。在經濟飛速發展的今天，在高度重視技術引進工作的同時，我們應該清醒地認識到：不是所有的技術都能買來，也不是所有的技術都可以去買。特別是在IC裝備領域，一定要在引進消化的基礎上形成自主創新能力，在主導產品的關鍵技術和集成技術上盡快形成自主開發能力。

中國IC裝備制造業要形成一定的可以支撐自身實現可持續發展的產業規模，需要充分發揮中國的制造成本優勢，走自主創新之路。首先需要瞄準我國IC產業升級的需求，取得本土制造廠用戶的支持，通過引進消化吸收再創新，研制開發一批關鍵制造裝備產品，形成整機集成能力，獲得自主知識產權，并在整機產品研發的帶動下，解決共性技術，培養配套的零配件產業，在本土形成零配件供應鏈，從而取得成本優勢，參與國際競爭。

在自主創新戰略中，應該堅持“有所不為，避免貪大求全;有所為，集中重點突破”的原則，瞄準產業鏈中的關鍵環節，慎重選擇切入點，首先在若干核心技術領域形成自主創新技術，形成局部特色和優勢，在國際IC制造產業鏈中占有一席之地，取得平等交流、交換與對話的權力，從而支撐我國IC產業實現可持續健康發展，在全球產業鏈中確立自己的位置并擁有核心競爭力。

3.1 建設國家級研發中心，構建創新研發體系

通過“十五”發展，我國在一些關鍵裝備上已經具備了良好的基礎，本著“集中攻關、重點突破”的原則，應制定相應的配套科.技攻關和產業開發計劃，在“十一五”期間加強支持力度，從而保證一些重點產品實現產業化，并力爭某些關鍵裝備產品在技術上趕上世界IC技術更新換代的節奏。

由于國內裝備企業較為弱小，依靠企業自身力量無法承擔起行業自主創新的重任。通過國家投入和引導，促進產學研用結合，建立國家級研發中心，結合企業研發中心和高校科研單位，構建起較為完整的創新研發體系，提升我國電子信息專用設備的自主創新能力。

3.2 機制創新，推動本土企業機制改造

要實現產業化目標，企業管理與市場運作模式比技術本身更具有決定性意義。IC裝備產業本身是一個國際性競爭行業，要在中國市場立足，同樣要面對國際競爭。而目前國內企業的綜合實力和運營模式離參與國際競爭的要求還有差距，產品化和市場意識還很弱。從研制出樣機到把產品邁進主流生產線還有相當大距離。為此，首先要采取措施促使和推動企業調整運營管理與市場運作模式，制定更加清晰的產品戰略和體系，以適應行業競爭的要求。

3.3 加強海外人才引進，有效利用先進技術資源

面對我國IC制造裝備技術與國際上的巨大差距，以目前的經驗看，通過國際化合作，積極引進人才，結合本土制造領域的基礎優勢，形成一種“海外人才+國企改造十先進平臺+產業運作”的模式，是一個迅速提升國內企業水平、層次和實力，實現機制體制轉變的一條有效的快捷途徑。因此，應設法促使國內企業采取有力度、有效果的措施實施自我改造，從海外引進產業人才和專業人才加入核心團隊，并建立充分利用海外技術資源的模式。

3.4 構建自主知識產權體系，提高應對知識產權糾紛的能力

知識產權戰略是自主創新的核心內容之一。知識產權保護工作應包含兩個方面：既要充分尊重國際競爭企業的知識產權，更要學會取得和保護自己的知識產權，構筑自己的知識產權保護體系。而在保護自己方面，國內企業尚缺乏足夠的重視和有效的策略。

國內企業應充分重視知識產權戰略，在研究知識產權保護策略的基礎上，進行自主技術的創新和知識產權的有效保護，構筑自己的知識產權保護體系，提高應對知識產權糾紛的能力。國家知識產權部門應采取有效措施，通過法律和政策手段，為企業提供支持和保護。

3.5 加強核心技術、共性技術和關鍵部件的自主創新

從建立產業體系的角度看，IC裝備整機要形成產品銷售和一定的產業規模，必須保證零配件供應，建立可靠的關鍵部（配）件配套供應體系，同時降低成本，提高性價比，實現穩定可持續發展。從形成產業自主創新能力的角度看，核心技術和關鍵部件實現自主創新，是整個產業自主創新體系建立的基礎。

3.6 加強前瞻性研發布局，實現自主創新目標

我們必須清醒地認識到，目前中國IC裝備制造技術主要還是通過各種途徑引進技術、消化吸收和集成創新，在總的技術路線上是跟蹤國際上的發展路線。國際IC裝備業發展到今天，已經從“裝備開發配套工藝”演變到“裝備是工藝的物化”這一新的理念和階段，銷售的產品已經從裝備本身演變為“物化”在裝備中的工藝和技術服務。我們要最終在國際IC裝備產業鏈中占有自己的位置，完成中長期規劃綱要提出的總目標要求，必須從IC制造技術的發展角度尋求更高層次的技術創新。從IC制造的創新加工技術出發，將創新工藝“物化”在制造裝備上，才有可能實現真正意義上的自主創新。中國IC裝備產業和技術要達到這一“境界”，還需要很長的歷程，需要長期的研究與積累，因此，加強創新技術、創新工藝、創新裝備的前瞻性研發布局具有十分深遠的意義。

結束語

當前我國集成電路生產線設備基本上是依賴進口，由于使用國產設備要比使用進口設備承擔更大的風險責任，國產設備的推廣應用難度很大，導致產業化進程緩慢，集成電路基金支持建設集成電路國產化示范生產線就顯得更為必要。

參考文獻

[1]蘭曉原.半導體產業：現狀、發展路徑與建議[J].發展研究，2018（6）：77-81.

[2]張海兵，劉偉.提升我國集成電路產業核心競爭力研究[J].科技創新與應用，2018（5）：187-188.

[3]黃燦燦.試論我國集成電路產業發展前景[J].科學技術創新，2010（21）：12-12.