林德啟用全新制氮機，為積塔半導體供氣
2020-02-20 03:37:21Grace
上海化工 2020年3期
林德集團最近宣布，其為積塔半導體建造的一臺制氮機在上海開機成功，林德與積塔半導體簽訂了一份為期20年的超高純工業用氣供應合約，目前開機運行的為計劃建造的兩臺高純制氮機中的第一臺，第二臺預計將于2022年上線啟用。
該臺制氮機位于上海臨港產業區，將為積塔半導體造價高達51億美元的晶圓制造廠供應各種超高純度氣體（如氮氣、氧氣、氬氣、二氧化碳）以及壓縮干空氣（CDA）。
（Grace）
