靶材：瞄準集成電路先進工藝節點

諸玲珍

隨著最后一箱靶材裝車完威，江豐電子3月份出貨任務順利收官。公司最新數據顯示，3月份靶材產量首次突破萬枚.月產靶材量和月出貨量雙雙創歷史新高。該公司副總經理、總工程師王學澤在接受《中國電子報》記者采訪時表示，雖然受到新冠肺炎疫情影響，但由于中國集成電路產業增幅較大，且不少產線仍在擴充產能，因此，國內對集成電路材料的需求也呈增長態勢。作為國內集成電路用高純濺射靶材單項冠軍示范企業，江豐電子化新冠肺炎之“危”為公司發展之“機”，努力成為國際一流的高純度金屬及濺射靶材生產企業。

疫情對中國半導體產業

影響是暫時的

王學澤告訴記者，新冠肺炎疫情的突然爆發，并沒有讓江豐電子措手不及，這都得益于公司此前進行的比較充分的準備。“從去年年底到今年年初，我們和客戶進行了密切溝通，確定了今年第一季度的訂單。從數字上看，比去年同期增長了很大一部分。”王學澤說。

1月24日，江豐電子緊急成立了疫情防控指揮中心，陸續成立11個工作小組，提前部署安排工作，匯集一批黨員、核心骨干成立了抗疫先鋒隊，提前籌集口罩、測溫儀、消毒液等抗疫物資，每天對公司進行消毒作業。全面復產后，公司一手抓防疫，一手抓生產。全員戴口罩、人廠測體溫、定時定點消殺、分批就餐、取消大型會議、領導堅守崗位、辦公室人員支援一線、提高原材料備貨、派專車送貨等一系列措施精準有效，在保證員工零感染的前提下，沒有延誤任何一個訂單，生產節奏緊張有序、發貨數量屢創新高。

王學澤給出了一組數字。總體來看，江豐電子2月份的出貨量比同期增長了70%以上，今年第一季度的銷售額也保持30%的增長。雖然面臨一些短期困難，但疫情對江豐電子2020年整體發展戰略和方向影響不大。“至于疫情對整個半導體產業產生多大影響，現在還不是很明朗。半導體產業是壘球性產業，疫情發生對后端消費市場帶來的影響較大，由此會波及集成電路產業。業內專家給出的預判是，今年全球半導體市場將呈下降趨勢。但是中國的集成電路產業，由于防護措施做的比較早，也做得比較好，加之疫情過后大量新增消費會帶來市場增長，因此可以說，國內集成電路產業受疫情影響只是暫時的，中國集成電路產業全年整體受的影響有限。”王學澤對記者說。

國內靶材

已經可以大批量供貨

超高純金屬材料及濺射靶材是集成電路制造所必需的關鍵原材料。王學澤在接受《中國電子報》記者采訪時表示，在濺射靶材應用領域中，集成電路對濺射靶材的金屬材料純度、內部微觀結構等方面部有極其嚴苛的標準，需要掌握生產過程中的關鍵技術，并經過長期實踐才能制成符合工藝要求的產品。因此，集成電路用濺射靶材技術要求最高，價格也非常昂貴。而平面顯示器、太陽能電池對于濺射靶材的純度和技術要求略低一籌，但隨著靶材尺寸的增大，對濺射靶材的焊接結合率、平整度等指標也提出了更高的要求。

王學澤介紹說，濺射靶材的質量直接決定芯片的質量，高純濺射靶材制造環節技術門檻高、設備投資大，具有規模化生產能力的企業數量相對較少，主要分布在美國、日本等國家和地區。近年來，受益于國家從戰略高度持續地支持電子材料行業的發展及應用推廣，我國開始出現少量專業從事高純濺射靶材研發和生產的企業，并成功開發出一批能適應高端應用領域的濺射靶材，為高純濺射靶材大規模產業化提供了良好的研發基礎和市場化條件。這些企業通過將濺射靶材研發成果產業化，積極參與濺射靶材的國際化市場競爭，改變了高純濺射靶材長期依賴進口的不利局面。

據中國電子材料行業協會統計，2019年中國半導體材料市場規模達到81.90億美元，且多個領域取得突破，其中靶材等細分產品技術標準達到國際一流水平，已經能為本土產線大批量供貨。而伴隨集成電路及平板顯示產業進一步向中國大陸的轉移，高端濺射靶材的應用市場亦將迎來快速增長期。

追蹤集成電路

先進制程節點

王學澤指出，集成電路、平板顯示器、太陽能電池等下游客戶為了嚴格控制產品質量，在選擇材料供應商時，對其資格認證壁壘較高，且認證周期較長。

我國高純濺射靶材企業要進入國際市場，首先要通過部分國際組織和行業協會為高純濺射靶材設置的行業性質量管理體系標準，例如，應用于汽車電子的半導體廠商普遍要求上游濺射靶材供應商能夠通過ISO/TS16949質量管理體系認證，應用于電器設備的濺射靶材生產商需要滿足歐盟制定的RoHS強制性標準;其次，集成電路、平板顯示器、太陽能電池等下游國際廠商均建立了十分完善的客戶認證體系，在高純濺射靶材供應商滿足行業性質量管理體系認證的基礎上，下游客戶往往還會根據自身的質量管理要求，再對供應商進行2到3年的合格供應商壘方面認證，內容涵蓋產品質量、供貨周期、批量生產、企業管理、生產環境等。只有通過認證后，才能成為其合格供應商。

“雖然高純濺射靶材行業認證周期長，認證程序復雜，但一旦通過他們的供應商資格認證，則雙方會保持長期穩定的合作關系，雙方的供銷關系輕易不會發生變化。”王學澤表示。目前，江豐電子等國內半導體材料企業通過消化吸收再創新，已經掌握了高純濺射靶材生產的關鍵技術，并積累了較為豐富的產業經驗，擁有了一定的市場知名度，獲得了全球知名客戶的認可。王學澤告訴記者，以江豐電子為例，他們在集成電路靶材領域，除滿足中芯國際、華虹宏力等產能擴展計劃，實現國內市場銷售增長外，還積極開拓國際市場，力爭與國際知名集成電路企業形成戰略合作關系，成為集成電路靶材的全球主要供應商。在平板顯示用靶材領域，江豐電子在滿足主要客戶京東方、華星光電等所需的鋁靶材的基礎上，還將供貨品種延伸至銅靶材、鉬靶材等，成為中國大陸平板顯示靶材的主要供應商。

在采訪即將結束時，王學澤向記者描繪了江豐電子的未來發展藍圖，他說，今后幾年，他們將追蹤國際先進集成電路技術，實現高純濺射靶材在14-3nm技術節點的規模應用;拓展大尺寸超高純靶材制造技術的應用，實現產品在平板顯示、觸摸屏及可穿戴電子設備、光伏產業等領域的規模銷售;垂直整合產業鏈，大力發展高純金屬材料提純與制備，增加產品利潤空間，開發關鍵PVD、CVD、CMP機臺零部件加工技術，提高核心競爭力，增強公司持續盈利能力。