專利名稱:一種鉬鎳銅多元合金濺射靶材及其制備方法

專利申請號:CN201911037789.7

公開號:CN110670032A

申請日:2019.10.29

公開日:2020.01.10

申請人:金堆城鉬業股份有限公司

本發明公開了鉬鎳銅多元合金濺射靶材及其制備方法，由以下質量組分組成：Ni 5%～45%，Cu 1%～10%，余量為Mo，以上組分的質量分數之和為100%；通過混料—冷等靜壓—熱等靜壓—去除包套—一火多道次熱軋—退火—機加工等，得到鉬鎳銅多元合金靶材。本發明制備方法通過混勻鉬鎳銅粉體，避免單純鉬合金熔點較高而無法采用常規霧化法的局面；通過設置燒結工藝參數，解決了多元合金中3種金屬粉末熔點相差較大不易燒結的問題；通過濺射靶材金屬化，解決了電沉積法進行陶瓷金屬化所產生的精密性及安全性差的問題；制備的鉬鎳銅多元合金濺射靶材，氣密性好、耐濕耐潮、高密度、高純度，提高陶瓷-金屬封接材料的使用壽命。