山西綜改區：累累碩果彰顯創新力量

張云峰　張翔宇

盛夏時節，萬木蔥蘢。在山西綜改示范區這片希望的田野、興業的沃土上，創新之風勁吹，孕育著一個個奇跡。

建設山西綜改示范區是山西省委、省政府踐行習近平總書記和黨中央賦予山西建設“國家資源型經濟轉型綜合配套改革試驗區”重大使命的戰略決策。2020年5月，習近平總書記在山西考察時，勉勵山西“在轉型發展上率先蹚出一條新路來”，極大地鼓舞了奮戰在轉型綜改一線廣大科技工作者的士氣和干勁。兩年多來，山西綜改示范區一連串令人驚嘆的成果彰顯著創新的蓬勃力量……

6月13日，中國寶武太鋼不銹鋼精密帶鋼有限公司（以下簡稱“精密帶鋼公司”）生產車間內機器轟鳴，軋制、清洗、拉矯、縱切、包裝……“手撕鋼”生產呈現一派火熱的繁忙景象。

“手撕鋼”從外表看只是一卷普通的鋼材，展開后卻薄如蟬翼，用手輕拉便能撕開。“別看它薄，卻可以承受20萬次折疊，不變形、不斷裂。”精密帶鋼公司首席工程師廖席自豪地說。

展臺背后的電子大屏上展示著習近平總書記2020年5月12日視察精密帶鋼公司時的4張照片。兩年多過去，精密帶鋼公司綜合管理部宣傳干事孟蕾蕾對當時的情景仍記憶猶新：在光亮機組前，習近平總書記饒有興致地了解了厚度僅有0.02毫米的不銹鋼箔材“手撕鋼”產品，他拿起一片“手撕鋼”仔細察看，用手指輕輕扭折了一下，稱贊道：“工藝確實好，就像錫紙一樣薄，百煉鋼做成了繞指柔。”

在生產車間門口，習近平總書記同職工代表親切交流：“希望你們再接再厲，在高端制造業科技創新上不斷勇攀高峰，在支撐先進制造業方面邁出新的更大步伐。”

牢記習近平總書記囑托，精密帶鋼人只爭朝夕。3個月后，他們交出了一份新的成績單：2020年8月16日11時15分，用時3小時，寬600毫米、厚0.015毫米的不銹鋼精密箔材軋制成功。

精密帶鋼公司黨委書記、經理王天翔回憶，由于0.015毫米的厚度超出了設備的設計極限，軋輥已經“感覺”不到不銹鋼精密箔材的存在，在“搟”的過程中不斷打滑。“在這種情況下，我們對軋輥進行了特殊處理，用激光把它毛化了，增加了粗糙度，同時減小了直徑，這樣就可以繼續‘搟’了！”

老問題解決了，新問題又來了。由于0.015毫米太薄，突破了設備設計極限，已經測量不出厚度了。“我們把設備的精度調整到極限，再通過數學模擬計算，最終解決了測量的問題。”王天翔說。厚度再減0.005毫米，能改變什么？“如果用來做電池包覆膜，同樣體積，電池容量能增加17%。”廖席解釋。

點滴努力匯聚，才有了科技創新之花的絢麗綻放。“習近平總書記對‘手撕鋼’的肯定讓我們備受鼓舞，總書記的殷殷囑托是我們創新發展的強大動力，讓我們鼓足干勁，一刻也不敢懈怠。”王天翔表示。

“今年7月，我們將再次全球首發兩款高端新材料，一款是掩膜板用專業膨脹合金，這一新材料打破了日本壟斷，填補了國內空白，實現產業鏈自主可控;另一款是光刻機用特殊耐蝕合金高端新材料，解決了芯片制造過程中的‘卡脖子’難題。同時，結合箔材特殊性能與使用場景需求，正在研發制作一種即時發熱的新型復合材料，為飛機機翼快速除冰。”談到下一步的計劃，廖席信心滿滿。

6月14日，在山西爍科晶體有限公司（以下簡稱“爍科晶體”）一層展廳，一個個像有機玻璃的圓形“工藝品”引起了人們的注意。工作人員介紹，這是碳化硅晶片，厚度0.5毫米，約為5張A4紙的厚度，直徑4英寸或6英寸，和一張CD光盤差不多。因為太薄，只能夾在兩層透明的“玻璃”之間供觀賞。就是這樣一個薄片，市場售價高達2000美元，還經常“一片難求”。

作為目前全球最先進的第三代半導體材料，碳化硅晶片具有其他材料不具備的諸多優點，是制造高溫、高頻、大功率半導體器件的理想襯底。“打個比方，5G之所以傳輸速度快，是因為它擁有一顆足夠強大的5G芯片心臟，碳化硅晶片就是5G芯片最理想的襯底。”爍科晶體總經理助理馬康夫解釋道。

走進爍科晶體單晶生長車間，透過玻璃幕墻可以看到一排排3米高的碳化硅單晶生長爐，它們表面平靜，里面2000℃以上的高溫中卻正在發生驚人的化學反應：生長形成碳化硅晶錠。“在這個過程中，晶體很容易出現缺陷。有個指標叫微管，就是晶體中出現的大概只有頭發絲幾十分之一細的管狀孔洞，眼睛是看不到的，一旦出現微管，整個晶體就不合格了。由于溫度太高，沒辦法進行人工干預，所以整個生長過程就如同‘蒙眼繡花’。”馬康夫介紹。

把生長好的晶錠用金剛石線切成一片片圓片，再進行研磨、拋光，就是最終的成品，這個過程對環境、工藝的要求十分苛刻。“爍科晶體碳化硅研發團隊從研制碳化硅單晶生長爐起步，到攻克生產碳化硅晶片的兩大關鍵技術——晶體生長和晶片加工，歷經10多年的艱苦探索，成功實現了從0到1的跨越。”馬康夫介紹，“遇到難題，大家從各自領域查找問題，集中力量攻關，不理出個頭緒來連飯也顧不上吃。現在，爍科晶體所使用的粉料合成設備、長晶爐都是自己研發、自己生產的全國產化設備。”“全球可以制備高純度半絕緣碳化硅晶片的廠家一共有4家，爍科晶體就是其中之一。”爍科晶體總經理李斌介紹。

2020年5月12日，習近平總書記考察調研山西綜改示范區時，在爍科晶體展臺前接過一片高純半絕緣4H-SIC單晶襯底，仔細察看后高興地說“這解決了‘卡脖子’問題”。

兩年來，在完全掌握4英寸、6英寸高純半絕緣碳化硅單晶襯底切、磨、拋工藝的基礎上，爍科晶體成功研制出8英寸碳化硅晶體，實現了8英寸N型碳化硅拋光片的小批量生產。

從4英寸到6英寸再到8英寸意味著什么？“8英寸面積雖然只是6英寸的1.78倍，但芯片產出卻增加了90%。”馬康夫解釋，“這意味著成本降低了、效率提高了，但同時帶來的是生長、切割工藝難度的指數式增長。”“下一步，我們將通過技術研發，提升碳化硅襯底的良品率、一致性、穩定性，對標國際領先水平，推動碳化硅襯底的國產化替代，在產品橫向拓展方面做一些布局，涉足氮化鋁、氧化鎵、金剛石等材料，實現寬禁帶半導體材料多元化發展。”馬康夫表示。

2020年5月12日上午，習近平總書記來到山西綜改示范區政務服務中心改革創新展廳，聽取綜改區建設和運營情況介紹。習近平總書記強調，長期以來，山西興于煤、困于煤，一煤獨大導致產業單一，建設轉型綜合改革示范區是黨中央賦予山西的一項重大任務，也是實現山西轉型發展的關鍵一招。山西要有緊迫感，更要有長遠戰略謀劃，正確的就要堅持下去，久久為功，不要反復，不要折騰，爭取早日蹚出一條轉型發展的新路子。

今年6月23日，太原市17名科技工作者沿著習近平總書記的視察足跡來到了山西綜改示范區政務服務中心改革創新展廳，重溫習近平總書記重要指示重要講話精神，銘記習近平總書記勉勵山西走上高質量發展之路的諄諄囑托。

在改革創新展廳，一幅幅圖片、一件件展品記錄著綜改區改革不停歇的足跡，講述著企業家們創新不止的故事——

圣點世紀科技股份有限公司開發了指靜脈生物識別技術軟件平臺，技術處于國內領先，可完全替代進口。

凱賽（太原）生物材料有限公司是全球首家也是目前唯一利用生物技術大規模實現二元酸、生物基戊二胺和聚酰胺等產業化的公司，打破了國外公司對高端尼龍產品長達80多年的壟斷。

山西錦波生物醫藥股份有限公司是全球唯一可將人源膠原蛋白實現產業化的企業，重組Ⅲ型人源化膠原蛋白凍干纖維是全球首個采用人源化膠原蛋白生物新材料開發的終端標志性產品……

科技工作者們問了又問、看了又看，在感到自豪的同時鼓足了前行的勇氣。

兩年多來，已有633批次、15097人次來到山西綜改示范區政務服務中心改革創新展廳參觀學習，切身感受轉型蹚新路的新成果、新變化。

久久為功蹚新路，踔厲奮發向未來。山西綜改示范區將深入學習貫徹習近平總書記關于科技創新重要論述和考察調研山西重要指示重要講話精神，深刻認識創新在現代化建設全局中的核心地位，加大重點領域關鍵環節科技創新力度，在新起點上謀求新突破，在新征程中實現新發展。