中國電科實現國產離子注入機28 納米工藝全覆蓋

2023 年，中國電科實現國產離子注入機28 納米工藝制程全覆蓋， 有力保障我國集成電路制造行業在成熟制程領域的產業安全。離子注入機是芯片制造中的關鍵裝備。在芯片制造過程中，需要摻入不同種類的元素按預定方式改變材料的電性能，這些元素以帶電離子的形式被加速至預定能量并注入至特定半導體材料中，離子注入機就是執行這一摻雜工藝的芯片制造設備。