實現雙參量同步感知的電渦流傳感器檢測電路及方法

申請號: 202311333713.5

【申請日】2023.10.16

【公開號】CN117387478A

【公開日】2024.01.12

【分類號】G01B7/02;G01D21/02;G01K7/16;G01B7/06

【申請人】北京理工大學

【發明人】李弘愷;盧杏浩;張彤;李子函

【摘 要】本發明公開了實現雙參量同步感知的電渦流傳感器檢測電路及方法，針對電渦流傳感器件，提供信號處理算法及其檢測電路，可實現雙物理量—微米級位移-溫度或者納米級金屬薄膜厚度-溫度—的同步快速檢測。該檢測電路具體為：激勵模塊為所述信號轉換模塊和所述特征分量解耦模塊提供穩定的正弦激勵信號。信號轉換模塊在所述正弦激勵信號的作用下，將電渦流傳感器敏感元件的阻抗變化量轉換為檢測電壓信號并輸出。特征分量解耦模塊將信號轉換模塊的輸出信號進行解耦，并經輸出模塊放大輸出。同時，基于該檢測電路還進一步提供了信號處理算法。