尹志堯：讓中國芯走向世界

2004年，一位60歲的老人從美國硅谷飛抵上海浦東。在出租車上，他打趣地讓司機猜猜他多大。出租車司機打量他后笑道：“您看起來只有38歲！”老人聞言爽朗大笑：“太好了，以后我就是38歲的人！”

這位老人，正是被譽為“中國芯片刻蝕機之父”的尹志堯。此刻，他正把人生刻度重置到了中國芯的起跑線。

從北大學子到硅谷精英

對于國人來說，“刻蝕機”是一個無比陌生的詞匯。但在高科技領域，它是半導體制造中不可或缺的核心設備之一，更是我國制造“中國芯”的基石。

正是在尹志堯及其團隊的努力下，中國才得以自主生產出刻蝕機，并迫使美國取消了對我國刻蝕機出口的禁令。如今，中微公司的刻蝕設備，在實驗室達到0.02納米的精準度，而國外刻蝕機巨頭目前量產能力尚在5納米到3納米階段。

正因如此，很多人說，尹志堯這個名字，注定會載入史冊。

1944年，祖籍安徽的尹志堯出生于北京一個知識分子家庭。由于祖父和父親都曾在國外留學，尹志堯在濃厚的文化氛圍中長大，接受了良好的教育。高中畢業后，尹志堯考入中國科技大學化學物理系，后在蘭州煉油廠和中科院系統工作。1978年，尹志堯考入北京大學化學系讀碩士。

1980年，36歲的尹志堯在親戚的幫助下赴美留學。4年后，他以優異的成績拿到美國加利福尼亞大學洛杉磯分校的物理化學博士學位。畢業后的尹志堯，進入美國硅谷半導體巨頭英特爾公司，開啟了他傳奇般的科技人生。

工作2年后，他跳槽到華人林杰屏創建的泛林集團（LAM）。在泛林的5年中，尹志堯從研發部資深工程師做到了資深經理，還開發出了彩虹號等離子體刻蝕機。有了尹志堯這員干將，泛林得以快速發展，從一個岌岌可危的小公司，蝶變成為市場占有率40%的行業第一。在硅谷，尹志堯成了香餑餑，各大半導體公司爭相拉攏，欲將其招至麾下。

1991年，尹志堯接受了美國應用材料（AMAT）公司的邀請，擔任總部首席技術官。在他的牽頭下，AMAT公司相繼研發出多款新型刻蝕機，再次回到了刻蝕機全球龍頭的位置。

在半導體行業深耕20年，尹志堯一共擁有280多項多國專利，行業有一半企業都用過他參與研發的設備。基于他的成就和對AMAT的貢獻，尹志堯被任命為公司副總裁。

在國內民眾月收入僅有千元左右的時代，尹志堯就已經過上了年薪百萬、財富自由的生活。在硅谷打拼的華人雖然為數不少，但有如此成就者實屬鳳毛麟角，堪稱硅谷傳奇。

2004年，即將60歲的尹志堯面臨退休。在世人看來，他在異國他鄉辛苦打拼半生，如今優渥清閑的退休生活觸手可及，是到了該享受人生的時候了。然而，命運卻在這時給了尹志堯新的選擇。

60歲的“豪賭”

這一年，在一次國際半導體設備展覽會上，尹志堯邂逅了上海經委副主任江上舟。正是這次見面，改變了他的人生軌跡。

江上舟是尹志堯在北京四中的校友，畢業于清華無線電專業的他，很早就意識到集成電路領域發展的重要性。當時，我國的芯片來源主要靠進口，而以美國為首的西方國家，動不動就把芯片納入管制范疇。江上舟深知，要打破這個局面，變被動為主動，最好的辦法就是實現自主生產芯片。

當時中芯國際已經落戶上海，如果刻蝕機也能實現國產化，那對“中國芯”的制造必將如虎添翼。于是，江上舟向刻蝕機專家尹志堯發出了邀請，他誠懇地說道：“回來吧，我們一起干，我已經是癌癥晚期，哪怕豁出這條命，也要造出中國自己的刻蝕機，這樣就再也不怕外國人卡我們的脖子了?！?/p>

聽到老同學的肺腑之言，尹志堯身為中國人的血液在燃燒。想到自己的父輩，不管面對多少誘惑，都堅定地選擇回國，積極投身國家建設，而自己這20年來一直在為美國人作嫁衣，為美國做貢獻，卻唯獨沒有用自己的學識來回報祖國。

在美國生活多年的尹志堯，心里很清楚，即便美國再發達，也無法給他帶來歸屬感。只有中國才是他的根，這一點永遠也不會變?，F在，是時候回去為國效力了。盡管沒有任何創業經驗，可60歲的尹志堯，毅然帶領15人的團隊飛抵上海，在浦東創辦了中微半導體設備公司。

那時，我國的集成電路剛剛起步，資金、人才、設備方面都存在較大缺口，加上刻蝕機研制生產的復雜程度，不亞于兩彈一星，這就使得尹志堯的創業之路，無比坎坷艱辛?？蔁o論有任何困難，都阻礙不了他為祖國研制刻蝕機的激情和決心。政府部門投入的資金消耗殆盡后，那就跑回美國拉融資。沒有做微觀設備所需幾十個領域的專業技術人才，就從各大院校招些相關專業學生來培養。

2007年，中微公司第一臺CCP刻蝕機交付成功，這可是中國自己制造的大國重器??！這也標志著我國“中國芯”的進程，取得了巨大突破。

對于刻蝕機，尹志堯有過一個比喻。他說芯片制造，好比在人的頭發絲的幾千分之一甚至幾萬分之一的尺度上，蓋一個50到60層的大樓。這是需要多部門多設備協同作戰的。其中最關鍵的幾種設備里，薄膜機負責鋪好材料，光刻機在上面畫好花紋，然后刻蝕機再把多余的地方剪掉，像剪窗花一樣。

隨著科技的發展，芯片的體積越來越小，精度也越來越高，加工步驟也越來越多，刻蝕機的作用也就越來越大。

芯片飛天，從追趕者到領跑者

隨后數年，尹志堯帶著他的團隊攻克了一個個難關，刻蝕機從14納米到7納米，再到5納米，締造了一個個中國傳奇。然而，這份亮眼的成績單，卻讓尹志堯的幾個前東家不淡定了。最先跳出來的是AMAT。2007年10月，他們向美國法院提請訴訟，狀告尹志堯和中微公司商業秘密侵權。理由是，中微公司的核心技術人員，都曾在硅谷的相關公司服務過。

作為美國芯片制造裝備研發領域的專家，尹志堯深知專利技術的堡壘，又怎會犯這種原則性的錯誤？從研發的第一天，他就要求團隊成員不光要避開行業內的幾百個專利技術，還要避開原公司的所有設計方案。這樣做既能避免糾紛，也保護了中微公司的知識產權。

這場官司打了兩年半，美國律師在徹查了中微公司內部600多萬份文件后，證實中微公司的刻蝕機技術全部是自發研制。鐵證如山，AMAT只得鎩羽而歸。

而在中微公司與AMAT的官司還未了結前，前前東家泛林也向臺灣法院起訴中微公司侵權。當起訴被駁回后，中微公司以侵犯商業機密為由，向泛林提起了反訴訟。泛林萬萬沒想到，這回旋鏢最終還是扎到了自己身上。法院不僅判決侵權成立，還勒令泛林銷毀與中微公司刻蝕機技術相關的所有文件和照片，此事才算塵埃落定。

然而，一波未平一波又起。中微公司在半導體行業的崛起，早已驚動了美國商務部和國防部。2015年，美國商務部識時務地撤銷了對中國出口等離子刻蝕機的禁令?？擅绹鴩啦繀s兩次無理由地，將中微公司列入軍事企業清單。中微公司據理力爭，并于2024年8月狀告美國國防部。

最終，美國國防部低下了高傲的頭。

2024年12月，他們將中微公司移除出了清單，并撤銷了對我國低端芯片的制裁。至此，在中美這場曠日持久的芯片大戰中，中國大獲全勝。

都說對手是最好的老師，多年來，美國在芯片技術方面的“卡脖子”，極大地推動了我國集成電路產業自主研制的進程。如今，我國芯片制造的幾大關鍵設備，都已經實現國產化。特別是中微公司生產的刻蝕機設備，不僅精度達到全球最高水平，并且全部由國內供應商替代。

這意味著，我國的芯片技術已經一飛沖天，從行業追趕者變成了領跑者。中微公司經過短短20年的時間，就成為全球頂尖的半導體設備供應商，被譽為“華人半導體之光”。

從硅谷精英到民族工業脊梁，尹志堯用20年詮釋了什么是不忘初心。從花甲之年歸國創業，到帶領中微公司打破國際壟斷，他的故事不僅是中國芯片崛起的縮影，更是一曲永不言敗的科技戰歌。

“芯片戰爭”未有終局，但尹志堯的信念始終如一，哪怕我們起步晚了30年，只要咬牙堅持下去，就一定能做到世界前沿。中國科技的崛起無法阻擋。正如尹志堯凍齡永駐的“38歲”青春，“中國芯”將永遠年輕，永遠熱血沸騰！

（楊樂摘自“大蝸牛閱讀”微信公眾號）