多線突圍 光刻材料國產化崛起

近期，全球光刻機巨頭阿斯麥在一季報業績溝通會上表示，2025年中國市場對ASML芯片制造工具的需求強于預期。2025年一季度，以路維光電、晶瑞電材和江化微為代表的電子材料廠商業績增速提高，印證下游面板廠商及晶圓廠的需求旺盛。

電子材料是半導體制造流程中的重要參與者，其景氣程度與下游的產能擴張及產品升級高度相關。2024年四季度以來，A股光刻材料類公司捷報頻出，股價震蕩上行，成為牛市的助推劑之一，反映出國內半導體產業鏈上游向自主可控的方向同步發展。

光刻材料是半導體制造中光刻工序不可或缺的耗材，經過多年的發展，國產化水平有所提高，但高端產品的國產替代需求仍然強烈。高端濕電子化學品的國產化程度不高，中國的光刻產業不僅需要量的增加，更需要質的升級。

不論是掩膜版還是光刻膠，如果自建工廠，面板廠商或晶圓廠會面臨大量設備、人工、資金等投入，且生產環節復雜，靈活性不高，相比之下，獨立運營的掩模版及電子化學品廠商能夠發揮技術專業化、規模化的優勢，取得一定的規模經濟效益。

目前，多家光刻材料類公司研發進展顯著，擴產半導體先進制程的配套材料。4月30日，茂萊光學發布可轉債募集說明書，擬募集不超過5.81億元用于超精密光學生產加工項目，旨在擴大半導體領域的銷售規模。

掩膜版需求旺盛

光掩膜版為圖形轉移的藍本，是銜接芯片設計公司與晶圓制造廠之間的橋梁，目前國產掩膜版的制程主要集中于350nm-180nm。2025年國內半導體掩膜版市場規模約為187億元，其中晶圓制造用掩膜版約為100億元，封裝用掩膜版約為26億元，其他器件用掩膜版約為61億元。

先進封裝的各主要工藝環節以及封裝基版等的制造都高度依賴光刻技術和掩膜版，封裝技術的革新催生先進封裝掩膜版需求高增，而顯示技術的迭代，如8K、折疊屏、透明OLED等，亦提高了掩膜版的價值量。

伴隨LCD向OLED切換、低溫多晶硅技術向低溫多晶氧化物切換，面板行業對掩膜版的需求層數、單片精度都不斷提升。下游面板行業、半導體行業本土化趨勢帶動本土面板掩膜版的需求增長。

2024年路維光電實現營業收入8.76億元，同比增長30.21%，主要得益于下游行業需求旺盛、該公司的產能穩步提升。

從收入結構看，2024年平板顯示掩膜版保持該公司的主要收入來源，其中OLED用掩膜版的增速明顯，帶動平板顯示掩膜版的整體增長；先進封裝掩膜版的表現突出，產品可滿足國內各種先進封裝要求，該公司已成為許多下游封測廠的頭部供應商。

路維光電對國內某領先芯片公司及其配套供應商、京東方、寰采星、藍思科技、成都奕成等客戶的供貨量提升較快。2024年高精度半導體掩膜版與大尺寸平板顯示掩膜版擴產等項目投產后，產能迅速爬坡釋放，營業收入和利潤攀升。2024年實現扣非歸母凈利潤1.74億元，同比增長39.56%。

該公司正在實施的半導體及高精度平板顯示掩膜版擴產項目涵蓋250nm-130nm半導體掩膜版和G8.6及以下高精度平板顯示掩膜版產品，預計在2025年完成新增產線建設并逐步釋放產能。

清溢光電平板顯示行業掩膜版的典型客戶包括京東方、維信諾、惠科、天馬、華星光電等；半導體芯片行業掩膜版的典型客戶包括芯聯集成、三安光電、艾克爾、士蘭微、泰科天潤、積塔半導體、華微電子、賽微電子和長電科技等。

2024年清溢光電半導體芯片掩膜版的營業收入為1.93億元，較上年同期增長33.98%。該公司已實現180nm工藝節點半導體芯片掩膜版的量產，以及150nm工藝節點半導體芯片掩膜版的小規模量產，正在推進130nm-65nm的特定工藝的掩膜版開發和28nm半導體芯片所需的掩膜版工藝開發規劃。

清溢光電平板顯示掩膜版2024年的營業收入為8.59億元，較上年同期增長17.59%。合肥工廠聚焦于擴大中高端平板顯示掩膜版的產能，配套建設中高端平板顯示掩膜版產線，并加大研發投入，加快高端掩膜版產品國產替代。

佛山生產基地項目包括高精度掩膜版生產基地建設項目和高端半導體掩膜版生產基地建設項目，其中，前者將分三期進行建設，合計擬投資20億元，后者合計擬投資15億元。項目建成投產后，將顯著提高清溢光電平板顯示掩膜版和半導體掩膜版的產能。

菲利華推出國內首創的10.5代薄膜晶體管LCD光掩膜基版，光掩模基版精密加工項目建成投產，填補該領域的國內空白。

該公司的半導體制程用氣熔石英玻璃材料通過了日本東京電子株式會社、泛林研發、應用材料公司三大國際半導體原廠設備商以及日立高新技術公司的認證，石英玻璃制品通過了中微公司與北方華創的認證。

天風證券認為，全球半導體光刻膠領域主要被日本JSR、TOK、住友化學、信越化學、富士材料及美國陶氏化學等頭部廠商壟斷，他們掌握超過90%的半導體光刻膠市場。中國企業量產產品以技術要求相對較低的i 線/g 線光刻膠為主，但目前 i 線/g 線光刻膠國產比例也仍有較大提升空間。在更高端的KrF、ArF光刻膠領域，目前國產比例非常低，更高端的EUV光刻膠仍處于研發階段。

精密光學組件攻堅克難

半導體設備的技術突破及國產化進程是產業鏈自主可控的關鍵環節。在涂膠顯影環節，國產設備在精度、分辨率、工藝穩定性和可靠性等方面與國際先進水平相比仍存在一定差距；在光刻環節，紫外光刻機已經完成國產化，極紫外光刻機尚處于早期技術探索階段。

在后道封測領域，國產半導體設備廠商在測試機、分選機、探針臺等設備方面的配套能力較前道設備更為完善，國內龍頭廠商在高端新品研發和市場拓展等方面進程較快。

蔡司、尼康和佳能作為全球少數能夠提供超精密光學元器件的供應商，占據了半導體超精密光學市場幾乎全部份額，但海外廠商的光刻機供給量無法滿足中國自身的需求增量。國內還存在著龐大的光刻機存量市場，核心零部件的替換、更新對于存量光刻材料的產能需求較為穩定。

永新光學超精密光學元組件產品已應用于無掩膜光刻設備，半導體光學量檢測設備等，核心光學模組及鏡頭已應用于光刻檢測系統，光刻鏡頭產品已應用于PCB光刻設備。此外，該公司的核心光學元組件產品可應用于激光微加工、光學傳感等領域，光學顯微鏡已用于光通訊、半導體相關設備及集成電路的檢測等領域。

茂萊光學已完成超精密光學器件及物鏡鏡頭的樣件研發，在研項目包括光刻前道缺陷光學量測技術、光刻機照明系統高精度光學器件加工與檢測技術研究。

前者已完成紫外檢測系統樣機的工藝改善和驗證工作，正在進行部分功能升級和小批量試制準備，后者已完成光刻機照明系統高精度光學器件加工與檢測工藝設計工作，以及部分資源和能力建設，正在進行工藝可行性驗證。

茂萊光學擬向不特定對象發行可轉債，募集資金總額不超過5.81億元，用于超精密光學生產加工、研發中心建設等項目，助力該公司實現包括超精密光學器件和物鏡鏡頭的量產。

光刻膠品類拓寬

半導體和平板顯示的濕法工藝制程中，需要大量通用性的超凈高純試劑和功能性的光刻膠配套試劑。隨著國內半導體和平板面板行業的增長以及濕電子化學品技術的提高，配套的濕電子化學品產業迎來發展機遇。

晶圓光刻膠是半導體光刻工藝中的關鍵材料，目前國內在先進的KrF、ArF、EUV光刻膠領域尚未實現大規模量產，而KrF、ArF光刻膠因其覆蓋了從0.25μm到7nm的主要半導體先進制造工藝，是現階段迫切需要實現國產化技術突破的半導體關鍵材料。

預計到2025年，中國集成電路晶圓制造用光刻膠市場規模將達到37.64億元。

2024年晶瑞電材光刻膠產品實現營業收入1.98億元，同比增長27.61%。正性光刻膠產品銷量合計增長超過23%，銷售額增長超過29%，i線及KrF光刻膠產品持續放量，ArF光刻膠厚積薄發實現小批量出貨，同時多款KrF及ArF光刻膠產品正在客戶驗證；紫外寬譜系列光刻膠產品銷量及銷售額增長均超過27%，且對多個國家或地區的新客戶實現了首次出口。

鼎龍股份在光刻膠領域投入大量研發資源，目前已布局20余款高端晶圓光刻膠，已有12款送樣客戶端驗證，其中7款進入加樣階段。2024年，該公司浸沒式ArF及KrF晶圓光刻膠產品首獲國內主流晶圓廠客戶訂單。

鼎龍股份開發出KrF、ArF光刻膠專用樹脂及其高純度單體、光致產酸劑等關鍵材料，實現從關鍵材料到光刻膠產品自主可控的全流程國產化，符合下游客戶產業鏈供應鏈安全自主可控的需求。在產能建設方面，推進潛江二期年產300噸KrF、ArF高端晶圓光刻膠量產線建設。

江化微G3等級二氧化硅蝕刻液、鈦蝕刻液成功進入國內6寸晶圓、8寸先進封裝凸塊芯片生產線，實現進口替代，部分產品已在華力微、合肥長鑫、積塔半導體、上海新昇等客戶形成銷售，在華虹半導體及臺灣高端半導體客戶驗證通過。

2024年該公司銷售光刻膠配套試劑3.81億元，同比增長15.90%，2025年一季度該類銷售額為9198萬元，同比增長17.32%。鎮江江化微年產22.8萬噸超凈高純試劑、光刻膠配套試劑等各類高端電子化學品材料項目一期項目產能已正式形成，二期項目預計10萬噸產能。

彤程新材的產品應用領域涵蓋集成電路芯片、LED、分立器件、先進封裝、微機電系統等，其生產的G線光刻膠產品在國內占據較大市場份額，i線光刻膠產品已接近國際先進水平。2024年彤程新材半導體光刻膠業務實現營業收入3.03億元，同比增長50.43%。該年新增新產品27支，新產品銷售收入占比達43%，其中前8項新產品貢獻了80%的銷售額。ArF光刻膠已通過客戶驗證并開始陸續上量產生營收，EBR等高端光刻膠產品在該年度取得銷售收入，新產品數量仍在持續增加。

該公司年產1.1萬噸半導體、平板顯示用光刻膠及2萬噸相關配套試劑項目已部分建設完成，其中包括年產300/400噸ArF及KrF光刻膠量產產線。此外，部分光刻膠產品已成功使用自研樹脂并實現商用，光刻膠樹脂業務持續助力光刻膠的研發。

在AMOLED光刻膠方面，彤程新材旗下北旭電子研發的產品可廣泛應用于G4.5-G6代線，兼容剛性及柔性OLED面板制程工藝。該公司開發的高性能高分辨率光刻膠以及AMOLED Touch用低溫光刻膠均已實現量產銷售。

北旭電子顯示面板光刻膠業務2024年實現營業收入3.30億元，同比增長26.8%，面板光刻膠產品銷量同比增長30.6%，國內市占率約為27.1%，子公司北旭電子在國內某大客戶的占有率約55%以上，隨著AMOLED新型顯示等相關產品的擴銷，份額有望進一步提升。

爭取規模效應

國產前道制造光刻機已實現90nm工藝芯片的量產，高端光刻機方面仍處于研發階段，尚未實現大規模量產。

阿斯麥曾在2024年10月警告稱，中國市場的銷售額將降至其凈系統銷售額的20%，而2025年一季度，阿斯麥來自中國大陸的凈系統銷售額與上一季度相比保持穩定，為27%，表明中國光刻產業具備較大的上升空間。

相關光刻材料公司的產品經歷了從研發攻堅、客戶驗證到批量生產的過程，積極實施新產品的產能投放，總體來看，試產階段產線的利用率較低，折舊及攤銷額較大，短期會拖累業績，但經過該階段之后，隨著產能利用率的提高，規模效益逐漸顯現。

2025年一季度，路維光電實現營業收入同比增長47.09%，主要是一季度產能提升，高端的 AMOLED、先進封裝等高端產品進一步放量，加之下游需求旺盛，帶動營業收入穩步增長。扣非歸母凈利潤同比增長19.90%。

晶瑞電材2024年半導體G5級高純雙氧水、高純硫酸等新建主體資產規模建成，新增產線全面投產并且大批量出貨，在建工程轉入固定資產，同時耗資較大的ArF、KrF高端光刻膠實驗室投入使用，最終導致固定資產折舊金額同比大幅增加7614萬元。

2025年一季度晶瑞電材收入及扣非歸母凈利潤分別同比增長12.17%和16.89倍。

一季度毛利率提高了1.66個百分點，毛利率的上升除因降本增效措施之外，還因為該公司繼續擴大優勢產品的銷量，高純硫酸、高純雙氧水四個生產基地20多萬噸的本土最大產能的規模效應開始顯現，出貨量持續上升。