摘 要: 微型化是機電繼電器最重要的發展方向之一,MEMS設計和制造技術的進展開辟了機電繼電器微型化的
嶄新途徑。本文系統介紹了典型MEMS繼電器的研究進展, 簡要地比較、評述了它們的優勢和缺點。關鍵詞: 機電繼電器;微驅動器;微機械加工技術;雙穩態繼電器
電子產品世界2005年5期
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9《現代食品》2024年4期
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