在摩爾定律等因素的推動下,半導體晶圓片的直徑尺寸不斷地擴大。1997年Inhneon公司在德國德累斯頓建造了全球第一條12英寸晶圓片生產線,開創了12英寸硅片的新時代。
電子產品世界2005年5期
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