影響大電流熱陰極輝光放電穩定工作的因素
2006-04-29 00:44:03白亦真呂憲義金曾孫姜志剛
吉林大學學報(理學版) 2006年1期
白亦真 呂憲義 金曾孫 姜志剛
摘要：大電流熱陰極輝光放電用于等離子體化學氣相沉積金剛石膜，有效地提高了沉積速率和膜品質。大電流輝光放電具有較強的向弧光放電轉化趨勢，本文研究了影響大電流熱陰極輝光放電穩定工作的因素，結果表明，陰極溫度、表面形貌、陰陽極位置和尺寸配置關系等對輝光放電的穩定性均有不同程度的影響。
關鍵詞：熱陰極；輝光放電；穩定性
中圖分類號：O461
文獻標示碼：A
文章編號：1671—5489(2006)01-0089-04
