ＭＥＭＳ技術(shù)：現(xiàn)狀與未來趨勢

技術(shù)市場

主持人Jim Walker：Gartner

就定義而言，MEMS(微機電系統(tǒng))是感知、計算和執(zhí)行的融合。它也是一種制造技術(shù)。它本身并不是某種產(chǎn)品。它為什么重要?從根本上說，MEMS把電子和機械特性結(jié)合了起來。它可以同時執(zhí)行物理、化學(xué)、生物等方面的功能，因為它能同時發(fā)生化學(xué)反應(yīng)和電作用。它實質(zhì)上是終極的片一系統(tǒng)，是科學(xué)和技術(shù)的終極融合，而且生物也可以與之兼容。

從MEMS市場的角度來看，2005年MEMS原材料的市場規(guī)模是3.85億美元，這些是與MEMS產(chǎn)品和半導(dǎo)體產(chǎn)品直接相關(guān)的。到2010年會翻一番，CAGR(年復(fù)合增長率)可以達(dá)到15％。2005年器件的市場規(guī)模是53億美元，在2010年可以達(dá)到100億美元。更重要的是，希望大家看看MEMS系統(tǒng)，它將是采用了MEMS產(chǎn)品的最終電子產(chǎn)品，到2010年，其規(guī)模將達(dá)到950億美元。

如今，MEMS的應(yīng)用對象都是最常見的東西。TI的DLP是一種MOEMS(微光機電系統(tǒng))，還有噴墨打印頭，這是MEMS的兩個最大的應(yīng)用領(lǐng)域。但是，當(dāng)前還有相當(dāng)一些應(yīng)用，其歷史甚至比這兩種產(chǎn)品更長，其中大多數(shù)是在汽車方面，例如氣囊傳感器及相應(yīng)的執(zhí)行器，燃油系統(tǒng)中所采用的氣壓傳感器和氧氣傳感器。在車身上也有MEMS，如GPS、麥克風(fēng)，這些領(lǐng)域是未來幾年中將取得巨大增長的領(lǐng)域。在聲學(xué)方而，有公司在經(jīng)營相應(yīng)的業(yè)務(wù)，包括用于手機的麥克風(fēng)，手機中的防沖擊裝置中的動作查測和執(zhí)行等功能。

最后一種是生物醫(yī)學(xué)傳感器，可以植入人體。這也將是未來會獲得巨大增長的領(lǐng)域。你可以在這里看到一些昔日的設(shè)想變成了現(xiàn)實，有DNA分析儀和光開關(guān)，他們是5年前所實現(xiàn)的，現(xiàn)在不那么引起人們興趣了。……