ＭＥＭＳ技術：現狀與未來趨勢

技術市場

主持人Jim Walker：Gartner

就定義而言，MEMS(微機電系統)是感知、計算和執行的融合。它也是一種制造技術。它本身并不是某種產品。它為什么重要?從根本上說，MEMS把電子和機械特性結合了起來。它可以同時執行物理、化學、生物等方面的功能，因為它能同時發生化學反應和電作用。它實質上是終極的片一系統，是科學和技術的終極融合，而且生物也可以與之兼容。

從MEMS市場的角度來看，2005年MEMS原材料的市場規模是3.85億美元，這些是與MEMS產品和半導體產品直接相關的。到2010年會翻一番，CAGR(年復合增長率)可以達到15％。2005年器件的市場規模是53億美元，在2010年可以達到100億美元。更重要的是，希望大家看看MEMS系統，它將是采用了MEMS產品的最終電子產品，到2010年，其規模將達到950億美元。

如今，MEMS的應用對象都是最常見的東西。TI的DLP是一種MOEMS(微光機電系統)，還有噴墨打印頭，這是MEMS的兩個最大的應用領域。但是，當前還有相當一些應用，其歷史甚至比這兩種產品更長，其中大多數是在汽車方面，例如氣囊傳感器及相應的執行器，燃油系統中所采用的氣壓傳感器和氧氣傳感器。在車身上也有MEMS，如GPS、麥克風，這些領域是未來幾年中將取得巨大增長的領域。在聲學方而，有公司在經營相應的業務，包括用于手機的麥克風，手機中的防沖擊裝置中的動作查測和執行等功能。

最后一種是生物醫學傳感器，可以植入人體。這也將是未來會獲得巨大增長的領域。你可以在這里看到一些昔日的設想變成了現實，有DNA分析儀和光開關，他們是5年前所實現的，現在不那么引起人們興趣了。……