摘要:傳感器技術是信息社會的四大支柱之一,傳感器和計算機結合形成的智能系統大大的拓展了人類生活的空間。在傳感器家族中,根據電容的物理特性制作的傳感器占有重要地位。電容傳感器是很好的狀態傳感器,可提高電容檢測,尤其是微小電容檢測的精度,是目前測控技術的熱點。本文重點介紹一套微小電容差分高精度檢測電路,該套電路可測物體的運動加速度,加速度計的分辨率可達2-18。
關鍵詞:電容式傳感器;MEMS;信號調理;檢測電路
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電子產品世界2008年3期
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