軟紫外光壓印光刻的模具制造研究

摘要：在軟紫外光壓印光刻中，提出以光刻膠為母版材料翻制聚二甲基硅氧烷軟模具的工藝方法，并把圖型母版材料對軟模具制造過程的影響進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究，研究表明，軟模具圖型質(zhì)量僅和澆鑄過程的充型壓力有關(guān)，在0，05 Pa的真空壓力下充型，光刻膠母版圖型強(qiáng)度足夠抵抗充型壓力，所翻制的軟模具復(fù)型精度為(97.24±0.60)％，復(fù)型精度方差為0.376％，在翻制軟模具50次后，光刻膠母版圖型無明顯扭曲變形和缺損、污物，因此，采用光刻膠作為母版圖型材料，不僅可以滿足工藝精度的要求，而且可以提高生產(chǎn)率、降低生產(chǎn)成本。

關(guān)鍵詞：光刻膠；母版材料；軟模具

中圖分類號(hào)：TN305.2 文獻(xiàn)標(biāo)志碼：A 文章編號(hào)：0253—987X(2008)07—0880—05