韋進文 郭俊杰
摘要:提出了用于坐標測量機(CMM)加速度誤差補償的氣浮導軌的剛度和阻尼的估計方法。利用CMM框架模型建立振動方程,并轉化為包含剛度和阻尼參數的慣性系統的頻響函數形式。通過試驗測試了CMM系統的加速度頻率響應,由相應的Bode圖而非Levy法估算了CMM氣浮導軌的剛度與阻尼,對參數辨識后的CMM系統進行模態分析,從而得到了采用模態疊加法的加速度誤差補償模型。試驗表明,用該方法進行的加速度誤差補償,CMM測端處誤差預測值與實測值的相關系數大于O.7,證明了該方法的可靠性。
關鍵詞:坐標測量機;氣浮導軌;誤差補償
中圖分類號:TH703.4;TH113.1文獻標志碼:A文章編號:0253—987X(2009)01—0047—05