ＳｎＯ₂納米顆粒對ＣＨ₄氣敏特性的研究

于靈敏　朱長純　范新會　祁立軍　吳琳瑯　嚴　文

摘要：使用溶膠一凝膠法制備了SnO₂納米顆粒，通過X射線衍射和掃描電子顯微鏡手段對材料的晶體結構和表面進行分析，結果表明所得材料為純SnO₂納米顆粒，以所制備的SnO₂納米顆粒為氣敏材料制備電阻式氣敏元件，在CH₄體積分數為2.5×10^-4時，測試SnO₂納米顆粒對CH₄氣體的氣敏特性，包括工作溫度一氣體靈敏度和響應一恢復特性，結果表明SnO₂顆粒在工作溫度為350℃時對CH₄的最大靈敏度為11，響應一恢復時間分別為5 s和8 s，實驗結果表明，該SnO₂納米顆粒氣敏傳感器對CH₁具有快速響應和高靈敏度的特性，在工礦安全運行和環境保護方面具有重要的應用價值。

關鍵詞：SnO₂納米顆粒；溶膠凝膠法；氣敏特性

中圖分類號：TH704文獻標志碼：A文章編號：0253－987X(2009)06－0118－05