美國 Natcore 科技公司建設抗反射涂層液相沉積處理站

美國 Natcore 科技公司建設抗反射涂層液相沉積處理站

美 國 Natcore 科 技 公 司 （Natcore Technology）于2011 年 3 月 15 日開始建設太陽能電池硅晶圓抗 反 射 （antireflective， AR） 涂 層 液 相 沉 積 （liquid phase deposition， LPD）處理站。 據稱 該站將利用該公司的專利技術為現有太陽能電池制造方式帶來一場重大變革。

目前太陽能電池采用化學氣相沉積（chemical vapor deposition， CVD）方法在高溫真空爐里制造，并需使用劇毒易燃硅烷等危險化學品及具有相當厚度可承受高溫加熱的硅片。 而處理站采用 LPD技術 又稱濕 化學 法 （wet chemistry）在溫 度 適 中 的化學池里制備 AR 涂層，在過程中無需使用硅烷，極大地減少了能耗及硅的使用量，從而降低太陽能電池制造成本并減少環境污染。

處理站為全封閉式，并配有晶圓預清洗輔助系統， 可在 LPD 處理之前對晶圓進行清洗。 此外，還將最新尺寸設置和過程控制技術與美國MicroTech 公司用于清除輕度金屬污染物的最新干燥模塊相結合，有利于實現電池的最佳性能。

系統的主要特征是對涂層工藝實施全程監測，并利用 MicroTech 公司分光計系統對化學池晶圓的AR涂層厚度實施精確測量，同時還可根據需要更改化學藥劑成分與使用時間，為電池生產帶來便利并提高精確度。

摘譯自互聯網