平行俄歇電子分析儀

(2011-021-英國-016)

俄歇電子能譜法(AES)是一種了解固體原子層面特性的方法,這一方法對開發許多最先進的電子設備至關重要,已經成功應用于從氣相化學到納米結構特性的廣泛領域。但是,當前AES硬件不僅體積龐大,而且造價昂貴、速度慢,還需要超高真空環境才能成功進行分析。這些缺點限制了它在電子顯微領域的大規模應用，可是另一方面，市場需求很大。為克服這一缺點，研究人員努力開發快速鉆孔機電子探測器以適應電子顯微環境。由約克大學開發的分析儀基于最新突破性設計，克服上述缺點，可以在不到一秒鐘內捕捉完整的俄歇頻譜。

優點：

1、捕捉到完整的俄歇頻譜不超過一秒鐘。

2、高能方法。

3、高敏感性。

4、可以改進適合現有的電子顯微鏡。

5、不需要超高真空。

應用范圍：

1、納米設備和結構的定量元素分析。

2、半導體產業---“殺人粒子”評估。

技術成熟度：實驗室成果

外方提議合作方式：技術轉讓