高 越,曲東亮
1.中國(guó)航空工業(yè)集團(tuán)公司北京航空材料研究院,北京 100095
2.北京青云航空儀表有限公司,北京 100086
為了實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的外觀和表面質(zhì)量要求,在產(chǎn)品精加工過(guò)程中,經(jīng)常使用研磨和拋光,研磨和拋光過(guò)程的目的是為了獲得在研磨和拋光過(guò)程中需要的形狀和表面質(zhì)量的產(chǎn)品,研磨和拋光的工藝質(zhì)量有許多因素,包括:類型的工具在研磨和拋光,工件材料,顆粒厚度(大小)等使用;打磨和拋光過(guò)程當(dāng)如加工路徑的參數(shù),研磨和拋光機(jī)床主軸轉(zhuǎn)速,切削速度,進(jìn)給速度,法國(guó)接觸力,處理時(shí)間和其他因素,找到了這些參數(shù)的最佳組合,打磨和拋光工藝的試驗(yàn)研究,以滿足產(chǎn)品的形狀和表面質(zhì)量要求和提高研磨和拋光的效率[1]。
機(jī)玻璃在塑料中透光性最佳,透射率高達(dá)92%~93%,相對(duì)密度較小,為1.19,相對(duì)密度石英玻璃半透明塑料有機(jī)玻璃只有1/2:抗斷裂性能,并為硅玻璃7~18倍,機(jī)械強(qiáng)度和超過(guò)10倍以上的石英玻璃更大的韌性;具有卓越的耐久性和耐老化的低溫(-50℃~60℃)和(100℃)高溫下,沖擊強(qiáng)度小的變化:良好的電絕緣性能,可耐電弧,良好的熱塑性塑料的加工性能,化學(xué)穩(wěn)定性,一般腐蝕能力強(qiáng),對(duì)酸,堿低濃度是次要的,因而在建筑,航空,汽車制造,科學(xué)儀器,文具及其他日常用品上有廣泛的應(yīng)用范圍[2]。
以前的準(zhǔn)分子微細(xì)加工方法,通過(guò)掩模圖像投射激光直接向工件成像后獲得所需的精細(xì)結(jié)構(gòu);另一種方法是使用激光束直寫(xiě)在工件上刻腐蝕的方法為重點(diǎn)。雖然這兩種工作走在合作可以獲取所需的三維微結(jié)構(gòu),但易受掩蓋其精度,重點(diǎn)部位,以及限制和其他因素,但無(wú)法達(dá)到的表面質(zhì)量?jī)?yōu)化。
準(zhǔn)分子激光拋光法和旋轉(zhuǎn)系統(tǒng),通過(guò)準(zhǔn)分子激光蝕刻工件旋轉(zhuǎn),以達(dá)到快速,靈活的加工工藝軸對(duì)稱微結(jié)構(gòu)法,并在此基礎(chǔ)上,進(jìn)一步提高精度的表面處理裝置的工藝參數(shù)控制。這是一種非接觸式,非磨削應(yīng)力光技術(shù),是冷加工準(zhǔn)分子激光設(shè)備的特點(diǎn)來(lái)達(dá)到降低表面粗糙度小,該技術(shù)達(dá)到鏡面效果。
激光的LAMBDA Physik公司305IF類型,作為芯片基板,具體處理系統(tǒng)結(jié)構(gòu)框圖如圖1所示有機(jī)玻璃。

圖1 準(zhǔn)分子激光旋轉(zhuǎn)拋磨加工法的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)
準(zhǔn)分子激光旋轉(zhuǎn)拋光處理方法的主要原則和旋轉(zhuǎn)裝置,如圖2所示。被加工工件是固定的通過(guò)調(diào)節(jié)工作的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的中心,并通過(guò)調(diào)整與轉(zhuǎn)盤中心的對(duì)稱工件主軸軸線重合,以確保軸對(duì)稱的結(jié)果處理。

圖2 工件裝卡及旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)裝置結(jié)構(gòu)示意圖
由電腦數(shù)控系統(tǒng)述孔先生調(diào)整表和激光束的相對(duì)位置,使激光束聚焦到工件被處理,并通過(guò)激光能量,激光頻率,距離控制工件和Guangban參數(shù),分別可達(dá)到蝕刻微拋光表面的裝置和設(shè)備的目的。準(zhǔn)分子激光加工旋轉(zhuǎn)拋光方法有一個(gè)強(qiáng)大和靈活。對(duì)處理結(jié)果的例子,只要與表中的不同的動(dòng)作,你可以實(shí)現(xiàn)對(duì)加工表面質(zhì)量和改善品種結(jié)構(gòu)部分,以解決微器件容易損壞工件拋光的問(wèn)題,這是一個(gè)非接觸應(yīng)力自由的加工方法,在微機(jī)械加工和拋光的工件,具有廣闊的應(yīng)用前景。
使用傳統(tǒng)的手工拋光方法不僅費(fèi)時(shí),而且難以保證一致的加工質(zhì)量,而工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)的噪音,灰塵會(huì)嚴(yán)重影響工人的健康。由機(jī)器人研磨,拋光加工效率提高有機(jī)玻璃窗口處理,機(jī)器,確保產(chǎn)品質(zhì)量,降低勞動(dòng)強(qiáng)度具有重要意義。

圖3 研磨拋光過(guò)程買現(xiàn)曲線
拋光機(jī)器人,他的雙手固定在電機(jī)驅(qū)動(dòng)研磨和拋光工具,研磨和拋光前與拋光研磨,研磨和拋光的研磨拋光處理高速旋轉(zhuǎn)電動(dòng)工具裝配工具旋轉(zhuǎn)。研磨時(shí),研磨方一側(cè)的水侵蝕,而在拋光過(guò)程中,除了研磨成毛墊,而且使用的泥漿。為了提高拋光效果。方案確定時(shí),研磨和拋光,研磨,拋光研磨,拋光設(shè)備和工具類型,工件材料,顆粒大小已經(jīng)確定,當(dāng)已知加工要求,加工路徑和加工范圍也已確定,但研磨和拋光機(jī)床主軸轉(zhuǎn)速∞,切向速度V,正常接觸力△F,進(jìn)給速度f(wàn)為未知參數(shù),研磨,拋光參數(shù)w、v、△F、f作為效益和效率的研磨,拋光定義主要因素,對(duì)這些直接分析四個(gè)參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)的正交設(shè)計(jì)中使用。在研磨和拋光的厚的部分,見(jiàn)圖3的實(shí)際過(guò)程。處理時(shí)間不同時(shí),相應(yīng)的工件搬遷是不同的。加工工件上的劃痕深度可設(shè)定不同的處理時(shí)間。
經(jīng)過(guò)研磨拋光玻璃,達(dá)到所要求的尺寸,良好的表面光潔度,與此同時(shí),參數(shù)優(yōu)化后,提高研磨和拋光的效率。機(jī)器人研磨拋光機(jī)窗有機(jī)玻璃工藝知識(shí)是建立在研磨和拋光機(jī)器人在試驗(yàn)的基礎(chǔ)上,具有一定的客觀性。它對(duì)加工工件的拋光機(jī)器人不同的材料進(jìn)一步研究是有一定的參考價(jià)值的。
通過(guò)上述對(duì)有機(jī)玻璃的研磨拋光技術(shù)背景和工藝發(fā)展歷史介紹,本文由機(jī)械研磨拋光到準(zhǔn)分子激光旋轉(zhuǎn)拋磨法及系統(tǒng)和由傳統(tǒng)的手工研磨拋光方法到機(jī)器人研磨拋光方法,包括磨拋工序、磨拋路徑及范圍、磨拋策略和磨拋實(shí)驗(yàn)等等,總結(jié)出經(jīng)過(guò)研磨拋光后的有機(jī)玻璃的要求:外形尺寸達(dá)到要求,表面平滑性好;同時(shí),經(jīng)過(guò)參數(shù)優(yōu)化設(shè)計(jì),提高磨拋的效率,研磨拋光機(jī)窗有機(jī)玻璃的工藝知識(shí)是建立在大量機(jī)器人磨拋試驗(yàn)基礎(chǔ)上的,要具有一定的客觀性。
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