太陽能電池生產的廢氣污染物及處理措施

康聰成

太陽能電池生產的廢氣污染物及處理措施

康聰成

福建華大環保工程有限公司

根據太陽能電池生產工藝，分析生產過程中產生的廢氣及污染物，論述了廢氣治理措施。

太陽能電池生產 廢氣污染物 治理

太陽能電池是一種將光能轉換為電能的光電元件，其基本構造是由P型和N型半導體接合而成。在太陽光的照射下，P型半導體內電子激發出來留下空穴，與N型半導體間形成電位差，如果在P型和N型半導體的外部用導線將電極連接起來，形成一個回路，將產生電流。太陽能電池是在半導體種摻入不同的雜質，做成P型和N型半導體，一般以高純度的硅片為基材，通過對清洗、制絨、磷擴散、沉積、印刷、燒結、封裝等工序制得。

1 太陽能電池生產工藝

福建省某太陽能電池生產企業已經建成25MW太陽能電池生產項目，該項目太陽能電池的生產工藝流程及廢氣產污環節見圖1。

圖1 太陽能電池生產工藝流程及廢氣產污環節

1.1 硅片清洗

硅片表面常常會粘附油污、灰塵等雜質，在制作太陽能電池前應先用純水進行多次清洗。

1.2 制絨

制絨是對硅片進行腐蝕，使硅片表面形成密集的金字塔型角錐體絨面，以減少光的反射率。制絨液可采用氫氟酸和硝酸混合的酸液，或氫氧化鈉溶液。酸液在使用過程將揮發酸性廢氣。

1.3 磷擴散

磷擴散實質是硅片形成PN結，三氯氧磷是磷擴散用得較多的一種擴散源。

把硅片放進擴散爐的石英容器內，在810℃～860℃的高溫下，氧氣和三氯氧磷在擴散爐中發生如下反應，反應生成的磷原子通過擴散進入硅片?！?br>