3D MEMS傳感器深入應用市場

VTI科技在第九屆電子峰會（Electronics Summit2011）上重點介紹了其三維MEMS(3D MEMS)傳感技術，它更加安全、高效、高質量，并能帶來更低的功耗。

VTI科技副總裁兼北美區總經理Scott Smyser介紹說：“3D MEMS傳感器由帶有金屬電容板的底座、帶有運動感應結構的中間層和頂蓋三個不同的硅層用玻璃粘合在一起組成，每層都有金屬薄膜形成電極，從而成為電容式傳感器，它可以在三個正交的方向上檢測到加速度。”VTI的各種產品組合包括陀螺儀、加速度計、諧振器和振蕩器、壓力測量計。3D MEMS傳感器是理想的植入式醫療裝置，具有準確性、可靠性、體積小、功耗低等優點。作為一家擁有20多年MEMS行業經驗、年出貨量達3000多萬個傳感器的全球最大獨立MEMS廠商之一，VTI科技的核心技術是3D MEMS傳感器。

2010年，VTI產品在汽車市場的增長非常顯著。“如果所有汽車配備電子車身穩定系統(ESC)，就可以挽救交通事故中更多的生命。”Scott Smyser介紹說，一些應用如車輛的防抱死系統(ABS)、電子車身穩定程序(ESP)、電動手剎(EPB)、斜坡起動輔助(HAS)、胎壓監控(EPMS)、引擎防抖和車內心跳檢測等在汽車電子中的需求非常旺盛。

MEMS器件最早的批量應用源于汽車電子產業，但隨著近年來消費電子領域的創新不斷涌現，消費電子、醫療領域也已經成為MEMS新拓展的應用市場。VTI在消費電子領域的產品包括應用于便攜電子產品的加速度計和陀螺儀，其產品以小尺寸、低功耗和精度為重點。“人口老齡化滋生了更多遠程監護的需求。每一分鐘，在世界上某個地方，一個包含VTI加速度計的心臟起搏器都被安裝于患者體內，讓他獲得更好的呵護。”Scott Smyser告訴記者，健康保健領域帶來了MEM傳感器的第三次浪潮，也被VTI科技視為高價值市場。

基于其3D MEMS傳感器的3軸陀螺儀CMR3000是VTI科技最近主推的產品，該產品將陀螺儀通過SPI數據口輸出，其特殊的制造工藝確保產品在使用中的高度可靠性。CMR3000主要應用于要求低功耗和大量程的消費類電子行業，如游戲的輸入設備、各種電子設備的遙控和安全監控以及手機行業。隨著各種新的應用不斷出現，MEMS傳感器產業將更加紅火。