納米壓痕測試裝置機架柔度直接標定法的改進

黃虎　趙宏偉　萬順光　耿春陽　米杰

納米壓痕測試技術是近些年發展起來的一項具有微納米級精度的力學測試新技術，由于具有操作方便、樣品制備簡單、測試分辨率高、測試內容豐富等眾多優點，納米壓痕測試技術逐步發展成為微納米力學測試的主流技術，在材料科學、生物醫學、半導體技術、鋼鐵冶金、表面工程、納米技術、微機電系統等領域發揮著越來越重要的作用，它可以對各類固態材料或器件的力學性能做出評價，從而對其設計和使用提供指導。