EDWARDS尖端尾氣處理技術新突破

EDWARDS尖端尾氣處理技術新突破

全球領先的真空設備、尾氣處理設備和相應服務的供應商Edwards公司宣布達到具有重大意義的里程碑——自20年前進入市場以來，公司銷售的尾氣處理系統超過了10,000臺。雖然大多數尾氣處理系統銷售予半導體行業的客戶，但在平板顯示市場，以及太陽能和化合物半導體等新興市場中，Edwards的銷售量也不斷增長，從而幫助公司達到這個里程碑。

Edwards排氣管理系統產品經理Steve Cottle稱：“業界對環境和氣候變化日益關心，這促使人們更多地意識到，需要減少排放各種可能的有害工業副產品。作為尾氣處理技術的領導者，Edwards一直專注于為客戶提供具有極低運營成本的高效尾氣處理系統。”

塔式氣體反應器（gas reactor column）是Edwards的首個尾氣處理產品，銷售數量已經超過3,000臺，這些產品仍然用于氮化鎵和其他研發應用。然而，所銷售的大部分尾氣處理系統一直是公司的內置點火燃燒腔（inward fired combustor）產品系列，包括TPU以及Atlas系列產品。由于這些系統具有經過生產驗證的性能和極好的可靠性，在過去十年里，Edwards的內置燃燒腔產品已經成為最暢銷的燃燒尾氣處理系統。

在地域方面，美國仍然是Edwards公司這些系統的最大市場。然而，亞太地區的高科技制造快速增長且環保法規要求日益嚴格，二者結合推動Edwards在亞太地區實現顯著增長。

Cottle表示：“我們非常高興達到這個重要的里程碑，Edwards依然專注于為客戶提供滿足其制造需求的尖端尾氣處理技術。”

（雋科）