角度計量中三光柵光學系統應用分析

王勝磊　劉福　雷正偉　張永偉

摘要：在目前的角度計量工作中普遍采用光電軸角編碼器作為測角器件，而光柵系統由于具有分辨率高、穩定性好、出錯率低、環境適應性強等特點而得到了計量界的認可。結合計量工作誤差處理嚴謹、不確定度來源分析透徹的要求，在分析了三光柵光學系統原理的基礎上，提出了針對其正弦輸出信號的自適應濾波方法。

關鍵詞：角度計量； 三光柵； 衍射； 自適應濾波

中圖分類號：TN911.7434 文獻標識碼：A 文章編號：1004373X(2012)19017902