低真空掃描電鏡在質檢和計量中的應用及發展
2012-12-31 00:00:00王紅姜艷婧蔣兵
科技致富向導 2012年21期
【摘要】詳細介紹了低真空掃描電子顯微鏡的發展及其在質檢和計量等工作中的應用情況，并對國家泵類產品質量監督檢驗中心引進的德國蔡司EVO 18型掃描電子顯微鏡的放大倍率進行了校正，結果表明，其放大倍率的誤差小于0.5%，在質檢及計量等工作中將發揮重大的作用。
【關鍵詞】低真空掃描電鏡；國家泵類產品質量監督檢驗中心；質檢；計量
【摘要】詳細介紹了低真空掃描電子顯微鏡的發展及其在質檢和計量等工作中的應用情況，并對國家泵類產品質量監督檢驗中心引進的德國蔡司EVO 18型掃描電子顯微鏡的放大倍率進行了校正，結果表明，其放大倍率的誤差小于0.5%，在質檢及計量等工作中將發揮重大的作用。
【關鍵詞】低真空掃描電鏡；國家泵類產品質量監督檢驗中心；質檢；計量
