D—JADE混合產品批間控制技術

摘要：針對混合產品半導體制程，采用了一種多重輸入輸出批間控制技術.該技術從目前的單機、單產品與單變量的批間控制技術，推廣至多機、多產品與多變量的批間控制.所設計的D-JADE控制器采用兩個預測器，分別預測制程位移與漂移造成的擾動，然后對下一批次的制程輸入做補償控制，使制程輸出控制在期望值.為了驗證采用的控制算法，設計了半導體生產制程的干擾模型，并利用此模型對D-JADE和D-EWMA進行了仿真比較。由仿真結果可知，所采用的控制器比傳統的D-EWMA控制器具有更好的預測與控制效能。