國防科大創造超精加工奇跡：亞納米成為“中國精度”

1納米是一根頭發絲的8萬分之一，而小于1納米則被稱為亞納米——這是國防科大精密工程創新團隊在超精密光學零件加工中創造的“中國精度”，有力支撐了“極大規模集成電路制造裝備與成套工藝”等3個國家重大科技專項創新突破，3年來為國家創造直接經濟效益2億多元。近日，該校研制兩種超精拋光裝備通過國家重大科技專項驗收。

超精密加工是以高精度為目標的先進制造技術，納米精度被譽為超精密加工技術皇冠上的明珠，西方發達國家將其視為戰略資源，嚴格限制出口。

面對我國光學零件制造水平的窘境，國防科大精密工程創新團隊在李圣怡教授率領下，跳過一、二代光學零件制造加工技術，直接瞄準基于可控柔體制造的第三代光學加工方法開展攻關，在國內首次研制出擁有自主知識產權的磁流變、離子束兩種超精拋光裝備，創造了我國光學零件加工亞納米的“中國精度”奇跡，使我國光學自動化加工技術及工藝一躍進入世界先進水平，成為繼美、德之后第三個掌握高精度光學零件制造加工技術的國家，也是目前世界上唯一同時具有磁流變和離子束拋光裝備研發能力的國家。

近3年來，該團隊與中科院、中國航天科技集團、中國航空工業集團等合作，推動我國空間光學、高端裝備制造發展，自主研制出兩大類7個型號的磁流變和離子束拋光機床，為“極大規模集成電路制造裝備與成套工藝”“高分辨率對地觀測系統”等3個國家重大科技專項提供技術保障和裝備支撐，解決了一系列制約其創新發展的技術難題。

團隊先后獲得科技部重大科技專項頒發的“突出貢獻獎”和“突出成果獎”。