MEMS市場展示美好

MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）微電子機械系統，出現于19世紀，從上世紀60年代起經過美國科技人員的不斷開發改進，并于1989年首先提出了“微電子技術應用于電機系統”的概念。由此，MEMS成為微機械等領域的學術用語，MEMS技術也成為熱門研究課題。MEMS隨著半導體集成電路微細加工技術和超精密機械加工技術的發展而發展，MEMS是感知、計算和執行的融合，它把電子技術與機械特性有機地結合了起來，可同時實現物理、化學、生物等方面的功能，現已滲透到電子、機械、物理、化學、醫學、生物等各個領域，變成世界矚目的重大科技領域之一，并具有廣闊的前景。MEMS傳感器是采用微電子和微機械加工技術制造的傳感器，與傳統傳感器相比，具有體積小、重量輕、成本低、功耗少、可靠性高、適于批量生產、易于集成和實現智能化等特點。

傳感器已屬于WSTS的統計項目之一，2012年銷售值80億美元，占整個半導體市場的2.7%，2013年增長4.5%，達84億美元，占2.8%，明年進一步上揚7.1%，達90億美元，占2.9%，2015年續增5.5%，達95億美元，占2.9%，保持著年年成長的趨勢。另外，Fairchild Semiconductor～MEMS與傳感器解決方案副總裁Janusz Bryzek從出貨量方面進行了預測，他說未來世界MEMS傳感器的應用有可能達到萬億片的規模，展望2023年，MEMS芯片出貨量估計可達1630億片，半導體芯片則為1.95萬億片，MEMS芯片出貨量占半導體量的比重將從2010年的3%提高到2023年的8%。圖1還告訴我們，從今往后兩者出貨量的發展速度會愈來愈快，MEMS的增速將從每年13%，提高到38%，半導體則將從9%提升到27%，前者的成長速度更勝于后者。

人機介面的歷史從鍵盤、鼠標，到目前流行的MEMS傳感器和控制器，觸控、手勢、語音、影像識別等正日漸普及，MEMs傳感器的應用不斷擴大。……