英國劍橋大學項目2014-LI-JQ-004基于微機械系統（MEMS）的體聲波（BAW）傳感器

英國劍橋大學項目2014-LI-JQ-004基于微機械系統（MEMS）的體聲波（BAW）傳感器

(2014-127-英國-63)

該系統顯著優于石英晶體微天平（QCM）的特性，具有緊湊的尺寸、電子相容性、更低的功耗、更低的成本和更高的可靠性。然而，其廣泛應用仍然受限于對溫度的依賴性。最近劍橋大學研究人員已經開發出一種新穎的薄膜體聲波諧振器（FBAR）裝置，該裝置通過使溫度和質量負荷在一個單一設備同時進行測量，而不增加其尺寸或復雜性，克服對溫度的依賴。通過使用一種新穎的多層器件結構和電極材料，具有較高的工作頻率（1-2 GHz）和世界領先的Q-因子（＞1500）。FBAR諧振器為在現實世界中使用FBAR傳感器監控開拓了新道路。該技術的優勢在于同一單元傳感器內對幾個物理量進行并行檢測，尺寸小（約150微米×150微米），靈敏度高（在10-14～10-15G），具有可調諧頻率驅動方式（適用于＞1 GHz應用）。

編號：Fle-2629-11

該實驗室成果在國內和國際上有很大的市場，已具有專利，外方期望以許可合作等方式開展合作。