雙目顯微系統(tǒng)光路偏轉(zhuǎn)與平行性檢測(cè)

徐 鹍，韓 森，張齊元，謝 翔，張中華，劉文濱，聶英華，吳泉英

（1.蘇州慧利儀器有限責(zé)任公司，江蘇 蘇州215123；2.蘇州科技學(xué)院，江蘇 蘇州215000；3.上海理工大學(xué)，上海200093；4.六六視覺(jué)科技股份有限公司，江蘇 蘇州215000；5.黑龍江省計(jì)量檢定測(cè)試院，黑龍江 哈爾濱150036）

引言

隨著現(xiàn)代科學(xué)之高速發(fā)展，雙目系統(tǒng)已經(jīng)滲透到各個(gè)學(xué)科領(lǐng)域，從顯微鏡、望遠(yuǎn)鏡到機(jī)器視覺(jué)、人工智能，高性能復(fù)雜結(jié)構(gòu)雙目系統(tǒng)層出不窮，這同時(shí)也給系統(tǒng)檢測(cè)提出了新的挑戰(zhàn)。如何高效地檢測(cè)系統(tǒng)，評(píng)估其整體性能的優(yōu)略，在研發(fā)和生產(chǎn)中起著至關(guān)重要的作用。好的檢測(cè)方法在檢測(cè)出性能指標(biāo)的同時(shí)，還可以通過(guò)對(duì)檢測(cè)結(jié)果的分析，逆向優(yōu)化雙目系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和裝配［1］，找到提高系統(tǒng)性能的突破口。現(xiàn)今的雙目系統(tǒng)光學(xué)檢測(cè)方法按檢測(cè)光束寬度可以分為寬光束檢測(cè)和細(xì)光束檢測(cè)。寬光束檢測(cè)主要是檢測(cè)系統(tǒng)的波像差及光學(xué)元件的面形誤差［2－3］，測(cè)試精度高，信息量大，內(nèi)容豐富全面，可以反映大空間尺度內(nèi)系統(tǒng)的綜合屬性。但其檢測(cè)儀器價(jià)格比較昂貴，檢測(cè)過(guò)程較復(fù)雜，而且不易找到系統(tǒng)病癥之部位。細(xì)光束檢測(cè)主要是檢測(cè)系統(tǒng)的光路特性。文中通過(guò)使激光束從待測(cè)系統(tǒng)的入射端入射，觀測(cè)研究反射光線和出射光線的位置和方向，檢測(cè)了待測(cè)系統(tǒng)的光路偏轉(zhuǎn)和平行性，分析了造成光路偏轉(zhuǎn)和不平行的原因。

1 系統(tǒng)組成

待測(cè)雙目系統(tǒng)如圖1所示，文中主要檢測(cè)了虛線框中的部分系統(tǒng)。其中各字母不僅僅表示光學(xué)元件，而是代表由光學(xué)元件和其機(jī)械結(jié)構(gòu)組成的整體元件。……