劉云潔 張文晗
(西安微電子技術研究所,西安 臨潼 710600)
謝偉力
(伊達斯電子科技有限公司,湖北 武漢 430073)
目前,多層板在層壓前給出層壓模式圖,雖然有效的避免了操作者依靠經驗判定使用哪種類型的半固化片、使用幾張等,但由于給定層壓模式圖時考慮不全、方法不科學等問題,在多層板層壓后有時會出現板厚超標現象,導致產品報廢,造成成本浪費、進度拖延等。
為了有效控制層壓板厚,本文從原材料的厚度、半固化片厚度、各層殘銅率、銅箔厚度等各方面經過大量實驗準確得出板厚的控制方法。
一般壓合后多層板理論厚度計算方法如圖1(以四層板為例)。

總板厚H=h-T(1-L2)+ h-T(1-L3)+內外層基材厚度+內外層銅箔厚度
同理可推出n層板的計算公式:
H=h-T[1-L(n-1)]-hT[1-L(n-2)]+h-T[1-L(n-3)]-hT[1-L(n-4)]+……+內外層基材厚度+內外層銅箔厚度
h——PP100%殘銅壓合后厚度(mm);T——內層銅厚(mm);L2——2層殘銅率;L3——3層殘銅率;Ln——n層殘銅率;
從上述理論分析可知:要準確控制多層板厚度,必須知道PP100%殘銅時壓合厚度、基材厚度、各內層殘銅率、內外層銅箔厚度。
2.1.1 實驗方案
將S11411080、2116分別疊1張、2張、3張、4張進行壓合。
2.1.2 實驗測試數據及結果(表1、表2)

表1 S11411080壓合后半固化片的厚度(100%殘銅) 單位:mm

表2 S11412116壓合后半固化片的厚度(100%殘銅) 單位:mm
2.1.3 驗證
為了驗證S11411080、2116100%殘銅時單張薄片壓合厚度,設計將1080與2116進行混壓,結果見表3。

表3
2.1.4 實驗結論
100%殘銅時S11411080壓合后單張半固化片的厚度:72 mm;
100%殘銅時S11411080邊緣與中間厚度差值:3 mm。
100%殘銅時S11412116壓合后單張半固化片的厚度:116 mm;
100%殘銅時S11412116邊緣與中間厚度差值:7 mm。