多晶硅副產(chǎn)物二氯二氫硅的應(yīng)用研究

石何武 楊永亮 湯傳斌 肖榮暉 嚴(yán)大洲

(中國恩菲工程技術(shù)有限公司, 北京 100038)

多晶硅副產(chǎn)物二氯二氫硅的應(yīng)用研究

石何武 楊永亮 湯傳斌 肖榮暉 嚴(yán)大洲

(中國恩菲工程技術(shù)有限公司, 北京 100038)

主要針對多晶硅生產(chǎn)過程的副產(chǎn)物二氯二氫硅在還原、氫化、反歧化等工序中的應(yīng)用進(jìn)行研究，以期通過合適的處理方法提高多晶硅生產(chǎn)過程中的原料利用率并進(jìn)一步降低多晶硅的生產(chǎn)成本。

多晶硅; 二氯二氫硅; 反歧化; 冷氫化; 還原

多晶硅作為信息化產(chǎn)業(yè)和太陽能光伏產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)原材料，在現(xiàn)代能源領(lǐng)域有著不可替代的作用。改良西門子生產(chǎn)工藝所產(chǎn)多晶硅占多晶硅市場份額的85%以上[1]。隨著生產(chǎn)技術(shù)水平的不斷提升，其流程得到進(jìn)一步的優(yōu)化，能耗逐步降低，但該生產(chǎn)工藝過程中的三氯氫硅合成、四氯化硅氫化以及三氯氫硅還原等工序均會產(chǎn)生一定量的副產(chǎn)物二氯二氫硅。二氯二氫硅化學(xué)性質(zhì)活潑，危險性極高，表現(xiàn)為易燃易爆，與空氣混合后在很寬的濃度范圍內(nèi)均可爆炸，是多晶硅生產(chǎn)中最危險的過程產(chǎn)物之一[2]。如何有效地處理二氯二氫硅是多晶硅生產(chǎn)企業(yè)最為關(guān)注的焦點(diǎn)。很多企業(yè)采用簡單的水解、中和等措施無法有效地處理二氯二氫硅。造成硅、氯等元素?fù)p失的同時還存在很大的安全隱患并對環(huán)境造成污染。

本文主要研究二氯二氫硅的有效回收利用，旨在提高多晶硅生產(chǎn)過程中硅、氯等元素的利用效率從而有效降低多晶硅生產(chǎn)成本和物料消耗。……