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AL2O3陶瓷化學鍍Ni—P工藝研究

2015-01-04 13:31:57郭英奎等
哈爾濱理工大學學報 2014年3期

郭英奎等

集成電路在電子工業中占有重要的地位,高電阻率、高熱導率和低介電常數是集成電路對封裝用基片的最基本要求,AL2O3陶瓷價格低廉、耐熱沖擊性和電絕緣性較好、制作和加工技術成熟,是目前應用最成熟的陶瓷基片材料之一,占整個陶瓷基片的90%以上。endprint

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