垂直結(jié)構(gòu)Zno薄膜晶體管制備與工作特性
2015-01-04 13:36:07朱敏等
哈爾濱理工大學(xué)學(xué)報(bào) 2014年3期
朱敏等
目前，透明氧化物基薄膜晶體管（TFTs），如znO-TFTs和非晶In-Ga-zn-O等，由于它們具有透明、高性能以及可以在低溫條件下制作在柔性襯底上等優(yōu)勢(shì)正成為下一代薄膜晶體管研究的熱點(diǎn)。endprint
目前，透明氧化物基薄膜晶體管（TFTs），如znO-TFTs和非晶In-Ga-zn-O等，由于它們具有透明、高性能以及可以在低溫條件下制作在柔性襯底上等優(yōu)勢(shì)正成為下一代薄膜晶體管研究的熱點(diǎn)。endprint
目前，透明氧化物基薄膜晶體管（TFTs），如znO-TFTs和非晶In-Ga-zn-O等，由于它們具有透明、高性能以及可以在低溫條件下制作在柔性襯底上等優(yōu)勢(shì)正成為下一代薄膜晶體管研究的熱點(diǎn)。endprint
