MgAl/PbPc/Cu有機薄膜二極管的制備與氣敏特性分析

王東興等

摘要：選用酞菁鉛作為有機半導體氣敏材料，用真空熱蒸鍍、磁控濺射等鍍膜方法制備器件，所制備薄膜二極管的結構為MgAl/PbPc/cu，使用Keithley 4200半導體測試儀與氣敏測量系統分析器件肖特基二極管的氣敏特性，通過對電流一電壓特性的實測數據進行深入的理論分析，比較出器件對不同濃度NO2氣體的敏感程度。endprint

摘要：選用酞菁鉛作為有機半導體氣敏材料，用真空熱蒸鍍、磁控濺射等鍍膜方法制備器件，所制備薄膜二極管的結構為MgAl/PbPc/cu，使用Keithley 4200半導體測試儀與氣敏測量系統分析器件肖特基二極管的氣敏特性，通過對電流一電壓特性的實測數據進行深入的理論分析，比較出器件對不同濃度NO2氣體的敏感程度。endprint

摘要：選用酞菁鉛作為有機半導體氣敏材料，用真空熱蒸鍍、磁控濺射等鍍膜方法制備器件，所制備薄膜二極管的結構為MgAl/PbPc/cu，使用Keithley 4200半導體測試儀與氣敏測量系統分析器件肖特基二極管的氣敏特性，通過對電流一電壓特性的實測數據進行深入的理論分析，比較出器件對不同濃度NO2氣體的敏感程度。endprint