國產(chǎn)IC光刻系統(tǒng)精密紫外反光鏡研制成功
2015-01-10 15:19:30機(jī)經(jīng)
軍民兩用技術(shù)與產(chǎn)品 2015年15期
國產(chǎn)IC光刻系統(tǒng)精密紫外反光鏡研制成功
沈陽儀表科學(xué)研究院經(jīng)過2年多的技術(shù)攻關(guān)，成功研制出了擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的集成電路（IC）光刻系統(tǒng)精密紫外反光鏡產(chǎn)品，其關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國際先進(jìn)水平。
該IC光刻系統(tǒng)精密紫外反光鏡產(chǎn)品可耐450℃高溫，利用自主研發(fā)的新工藝實(shí)現(xiàn)了非球面成形。其反射波長范圍為300nm～440nm，反射率大于95%，達(dá)到了反射紫外光并濾除其它可見光的目的。據(jù)悉，該產(chǎn)品的成功開發(fā)，填補(bǔ)了該項(xiàng)技術(shù)的國內(nèi)空白，標(biāo)志著沈陽儀表院在精密非球面加工和檢測技術(shù)、非球面耐高溫薄膜鍍制等方面取得了技術(shù)突破，將有力推動(dòng)我國光學(xué)薄膜行業(yè)的技術(shù)進(jìn)步。目前，該院已形成口徑55mm～362mm系列精密紫外反光鏡產(chǎn)品，還將推出645mm大口徑產(chǎn)品。 (機(jī) 經(jīng))
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