離子注入表面改性

離子注入屬于物理氣相沉積范圍，是將所需物質的離子在電場中加速后高速轟擊工件表面，并使之注入工件表面一定深度的真空處理工藝。離子注入將引起材料表層成分和結構發生變化，以及原子環境和電子組態等微觀狀態的擾動，因而導致了材料的各種物理、化學和力學性能的變化。離子注入表面改性特征如下:1)采用離子注入法可能獲得不同于平衡結構的特殊物質，是開發新型材料的非常獨特的方法。2)離子注入溫度和注入后的溫度可以任意控制，且在真空中進行，不發生氧化，不變形，不產生退火軟化現象，表面粗糙度一般無變化，可作為最終處理工藝。3)可控性和重復性好。4)可獲得兩層或兩層以上性能不同的復合材料，復合層不易脫落，注入層薄，工件尺寸基本不變。目前離子注入工藝已應用于許多工業部門，尤其是在工具模具制造業效益突出。