線性壓電微電機與轉動式壓電微電機

項目成果屬于烏克蘭科研生產小企業Lileya有限公司所有。

線性壓電微電機是基于線性導軌和準諧振型壓電制動器而研制的，具有分辨率高（～10 nm）、工作力大（≥4N）、位移大（15毫米）、體積小（9.5×33.5×40mm）、重量輕（20克）等特性。

轉動式壓電微電機是基于精密抽汲軸承和準諧振型壓電平面制動器而研制的，具有分辨率高（～10arc.sec）、扭矩大（≥10mN*M）、轉速范圍大（60-300rpm）體積小（9×34×40mm）、重量輕（20克）等特性。

以上壓電微電機適用于微控制器、微閥、機器人、光學等領域。

該技術具有專利，外方期望以多種方式開展合作。