基于激光干涉測振技術的壓電陶瓷蜂鳴片質量監控

趙斌興，王亞非，高椿明，孫啟明

(電子科技大學光電信息學院 成都 610054)

.光電子學工程與應用.

基于激光干涉測振技術的壓電陶瓷蜂鳴片質量監控

趙斌興，王亞非，高椿明，孫啟明

(電子科技大學光電信息學院 成都 610054)

利用激光干涉技術和干涉條紋大小數擬合計數軟件處理方法，研究測量低頻微小振動，開展壓電陶瓷蜂鳴片質量監控研究。介紹了基于激光干涉技術的振動測量研究方法，分析了壓電陶瓷蜂鳴片在正弦電壓驅動下，不同初始干涉光程差、不同振幅的振動產生的干涉信號及干涉條紋大小數擬合計數軟件處理方法；建立了邁克爾遜干涉測振系統，運用干涉條紋大小數擬合計數軟件方法，對不同正弦電壓驅動的壓電陶瓷蜂鳴片微小振動進行了測量。研究表明，基于大小數擬合計數軟件方法的激光干涉測振技術可以有效測量微小振動，為壓電陶瓷蜂鳴片質量監控提供一種有效手段。

擬合計數; 激光干涉; 壓電陶瓷蜂鳴片; 振動測量

壓電陶瓷蜂鳴片是利用壓電陶瓷的逆壓電效應將電信號轉化為振動信號的一種器件，廣泛應用于音響、通訊、遙感等產品，電聲特性是其最主要的性能。生產線上的電聲性能質量監控手段之一是向蜂鳴片輸入交流電信號，判斷發聲大小是否與樣板相符。這種檢測方法檢測精度低，影響產品質量控制，因此，發展精度高、靈敏度高的檢測方法對嚴格控制壓電陶瓷蜂鳴片質量十分重要[1-2]。

激光干涉測量技術是一種非接觸式微小位移測量技術，具有精度高、分辨力高、靈敏度高、穩定性好及結構簡單等優點。常見的高精度激光干涉測量法有零差激光干涉法和外差激光干涉法，其測量基本原理是將位移量轉化為光干涉條紋變化量，再進行數據處理，進而得到位移量[3-8]。其中，干涉條紋變化量的處理是干涉測量的重點，大小數結合細分法是干涉條紋變化量處理的重要方法之一。對大數計數一般采用莫爾干涉條紋硬軟件計數法，對小數計數則采用相位細分軟硬件測量法[9-13]。對于振動測量，不同初始干涉光程差、不同振動幅度的微振動產生的干涉信號復雜，很難準確確定一個周期中移動的條紋數。而運用基于大數計數、小數擬合干涉條紋軟件處理方法，則可對一定類型的振動做精確測量。

本文利用激光干涉測振技術，在干涉初始光程差不確定的情況下，采用大數計數和小數擬合的軟件方法，對壓電陶瓷蜂鳴片在低頻低電壓正弦驅動下的振動情況進行測量。測量表明，基于大數計數、小數擬合軟件方法的激光干涉技術可以有效測量微小振動，通過對一定低頻低電壓正弦驅動下壓電蜂鳴片振動情況的測量，可以為壓電陶瓷蜂鳴片質量監控提供一種有效手段。

1 理 論

激光干涉測量是檢測測量光束與參考光束之間光程差的改變而引起兩束光的干涉條紋的變化情況，進而得到被測量物體的位移大小。

邁克爾遜干涉儀中，試樣表面沿入射光方向上有λ/2位移時，測量光束與參考光束之間的光程差變化在空氣中為一個λ，在光電檢測器上移過一條干涉條紋。當器件表面做頻率為?的微振動時，移動的路程S=Nλ/2，其中，N為一個振動周期內移動的干涉條紋數[3]。

在正弦信號驅動下，壓電陶瓷蜂鳴片以信號s(t)做周期振動，通過邁克爾遜干涉儀檢測后的光干涉電信號為：

式中，CC為光干涉電信號直流項；BB為光干涉電信號調制幅度；δ為初始光程差。

干涉信號處理時，通過微調干涉初始光程差，使干涉光信號調整為除最值外還存在極值的干涉信號，取相鄰的相同極值間的數據確定振動周期、干涉直流項和干涉調制幅度。當干涉信號變化一個大數條紋(相鄰兩不同干涉光最值間的變化)表明器件有λ/4位移，而小數條紋可根據式(1)求得器件對應的位移量，根據大小數條紋隨時間的變化情況，確定位移變化軌跡，并通過一階微分，確定速度變化。

在低頻正弦電壓驅動下，壓電陶瓷蜂鳴片有不同的振動情況。若驅動電壓低，壓電陶瓷遲滯特性可忽略，在理想的實驗條件情況下，壓電陶瓷蜂鳴片做簡諧振動；若驅動電壓高，由于遲滯特性及壓電陶瓷蜂鳴片的結構特性，壓電陶瓷蜂鳴片做非間諧振動。下面對壓電陶瓷蜂鳴片做諧振動時的干涉光信號進行仿真并處理。非諧振動產生的干涉光信號與諧振動產生的干涉情況相同，只是干涉信號隨時間變化快慢與諧振動有所區別。

1.1 諧振動干涉信號仿真

當壓電陶瓷蜂鳴片在正弦電壓驅動下做振幅為A、頻率為?的簡諧振動y=Asin(ωt)時，邁克爾遜干涉儀干涉光信號可按振動過程中是否達到干涉最值，分3種情況：1) 干涉光信號未達到干涉光強最值，此時振動幅度A∈(0,λ/8)，干涉初始光程差δ∈(0,λ/8)且δ ≠ λ/2，如圖1a所示；2) 干涉光信號達到一個干涉光強最值(最亮或最暗)，此時振動幅度A∈(0,λ/4)，干涉初始光程差δ∈[0,λ)且δ≠λ/4，如圖1b所示。3) 干涉光信號達到光強最值(最亮、最暗)，此時振動幅度A≥λ/8，干涉初始光程差δ∈[0,λ)，如圖1c所示。

1.2 諧振動干涉信號處理

干涉條紋變化量的處理是激光干涉測量的重點，通過采用大數計數和小數擬合的軟件處理方法，可分析處理干涉條紋變化量，實現微小振動的測量。

運用大數計數和小數擬合的軟件處理方法處理諧振動干涉信號，大數計數是對干涉條紋在光干涉最強和最弱間的周期變化進行計數，小數擬合是對干涉條紋在光干涉最值內變化的信號進行擬合計數。具體處理方法：取得半周期中數據(從極值開始取值)，進行大數計數，計錄半周期中光強最值的變化個數，結合大數計數，與式(1)進行A,δ雙參擬合，確定振動幅值A，則諧振動y=Asin(ωt)確定，器件隨時間振動的情況(如位移、速度)同時確定。

假設3種干涉信號：未達到干涉光強最值(A=λ/15，δ=λ/5)、達到一個干涉光強最值(A=λ/9，δ=3λ/8)、達到干涉光強最值(A=7λ/8，δ =7λ/8)為實驗干涉信號(其中，CC=8，BB=5，λ=0.632 8 μm，ω=2π)，采用大數計數和小數擬合軟件方法處理，得到圖2中所示光干涉電信號擬合曲線、振動信號位移及速度曲線。可看出擬合較好，擬合得到振動幅值與振動信號幅值一致，表明運用大數計數和小數擬合的干涉波形變化信號處理方法，可精確實現振動信號的測量。

2 實 驗

壓電陶瓷蜂鳴片質量監控系統主要由邁克爾遜干涉儀組成，干涉儀測振系統如圖3所示。圖中，光源為氦氖激光器(波長為0.632 8 μm)，激光經擴束系統擴束、分光鏡分光后分為參考光束和測量光束，參考光束經參考全反鏡反射后再透過分光鏡，測量光束由壓電蜂鳴片表面反射后，再由分光鏡反射，與參考光會合，經過透鏡會聚后，在光電檢測器表面形成干涉條紋，檢測干涉條紋的變化情況，得到壓電陶瓷蜂鳴片的振動情況，壓電陶瓷蜂鳴片由低頻正弦周期電壓信號驅動。

實驗中所用蜂鳴片由壓電陶瓷層和金屬層(黃銅)粘合而成，壓電陶瓷直徑為25 mm，厚度為0.23 mm，黃銅層直徑為35 mm，厚度為0.22 mm。在頻率為1 Hz且不同電壓(峰峰值：3 V、7 V、20 V)正弦信號驅動下，光干涉電信號如圖4所示。

光干涉電信號經濾波降噪平滑處理后，采用大數計數和小數擬合的軟件處理方法，擬合得到壓電陶瓷蜂鳴片在峰值為3 V、7 V的正弦電壓信號驅動下，半個周期中的光干涉電信號及微振動情況(位移、速度)如圖5a、圖5b所示；得到在峰值為20 V的正弦電壓信號驅動下，一個周期中的光干涉電信號及微振動情況(位移、速度)如圖5c所示。

通過圖5a、圖5b可看出，低電壓正弦信號驅動時，壓電陶瓷蜂鳴片振動為諧振動，經濾波降噪平滑處理后的光干涉電信號實驗數據與理論擬合很好，得到在3 V、7 V正弦電壓信號驅動下蜂鳴片的振動幅度分別為0.046 μm、0.087 μm，隨著電壓的升高振動幅度增大；從圖5c可看出，電壓升高后，壓電陶瓷蜂鳴片振動為非諧振動，光干涉電信號實驗數據與理論擬合很好，得到壓電蜂鳴片隨時間變化的相對位移及速度。

測量誤差主要來源于兩個方面：1) 由于測量時的系統噪聲，實際記錄的光干涉電信號需要通過濾波降噪平滑處理后再進行擬合，因此，會影響測量精確度。運用平均絕對百分誤差(MAPE)公式對頻率為1 Hz且不同電壓(峰峰值：3 V、7 V、20 V)正弦信號驅動下的光干涉電信號進行估算，處理前和處理后的兩個時域信號平均絕對百分誤差分別為9%、9%、7%。2) 由于本文測量是利用理論模型對實驗數據進行擬合得到測量值，因此擬合誤差也會影響測量精度。運用相同的公式估算、處理后的時域波形同理論最佳擬合波形平均絕對百分誤差分別為0.056%、0.49%、0.26%。這兩方面的誤差導致微振動測量具有一定的測量誤差，若提高測量信號信噪比則能提高系統測量精度。從以上分析可以看出兩部分誤差都較小，且光干涉電信號實驗數據與理論擬合較好，表明大數計數和小數擬合的軟件方法可以有效處理微振動干涉條紋變化信號。

3 結 論

本文利用激光干涉技術和干涉條紋大數計數和小數擬合軟件處理方法，對壓電陶瓷蜂鳴片在低電壓正弦信號驅動下的振動進行測量，得到如下結論：

1) 壓電陶瓷蜂鳴片實驗干涉信號與理論擬合很好，表明基于大數計數和小數擬合軟件處理方法的激光干涉測振系統，能夠有效測量低頻微振動，可以用來控制壓電陶瓷蜂鳴片質量。

2) 壓電陶瓷蜂鳴片的振動幅度隨著電壓的升高而增大，低電壓時為諧振動，高電壓時為非諧振動，這是由高電壓下壓電陶瓷蜂鳴片的遲滯特性及結構特性導致。

總之，基于大數計數和小數擬合軟件處理方法的激光干涉測振系統，可實現微小振動的測量，可以為壓電陶瓷蜂鳴片質量監控提供一種有效手段。

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編 輯 漆 蓉

Quality Control of the Piezoelectric Ceramic Buzzer Based on Laser Interferometer Vibration Measurement Technique

ZHAO Bin-xing, WANG Ya-fei, GAO Chun-ming, and SUN Qi-ming
(School of Opto-Electronic Information, University of Electronic Science and Technology of China Chengdu 610054)

Laser interferometer, which uses interferometric fringes integral counting and decimal fitting software method to extract the vibration displacement, was employed to measure low-frequency micro-vibrations of piezoelectric ceramic buzzers. The vibration measurement principle on the base of laser interference technique is introduced at the first. Interference signals with various initial optical path differences and vibration amplitudes when the piezoelectric ceramic buzzers are driven by sinusoidal voltage signals are analyzed. The corresponding software processing method for the vibration displacement determination is established. An experimental system was built for the measurement of micro-vibrations of a piezoelectric ceramic buzzer driven by different sinusoidal voltage signals. The results show that the laser interferometer vibration measurement technique based on the interferometric fringes integral counting and decimal fitting software method can efficiently measure micro-vibrations and provide an effective means for quality control of piezoelectric ceramic buzzers.

fitting count; laser Interference; piezoelectric ceramic buzzer; vibration measurement

O436

A

10.3969/j.issn.1001-0548.2015.03.023

2014 ? 03 ? 21；

2014 ? 06 ? 23

中央高校基本科研業務費專項資金(ZYGX2012Z006,E022050205)；國家自然科學基金(50506006,61379013,61107078)；四川省青年基金人才培養計劃(2011JQ0025)

趙斌興(1986 ? )，男，博士生，主要從事光聲光熱無損檢測技術方面的研究.